Экспериментальное исследование сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления в магнитном поле

СОДЕРЖАНИЕ
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
Глава I. Сильноточные разряды низкого давления в магнитном поле и их использование для генерации плотной плазмы и интенсивных потоков частиц.
1.1 Экспериментальные исследования газового разряда низкого давления в магнитном поле и их применение
в современной технике
1.2 Методы получения разрядов низкого давления большой
мощности с однородной структурой плазмы.
Выводы
Глава 2. Методика и техника эксперимента
2.1 Экспериментальная установка для получения мощных квазистационарных форм газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях.
2.2 Импульсная зондовая методика определения параметров плазмы
2.3 Двухмодовая лазерная методика определения плотности плазмы.
2.4 Импульсное смещение
Глава.3. Области существования и характеристики квазистационарных сильноточных режимов разряда низкого давления в магнитном поле различной конфигурации
3.1 Режимы квазистационарного разряда
3.2 Применение импульсной зондовой методики для определения параметров плазмы и ионных потоков
3.3 Определение параметров плазмы разряда методом двухмодовой лазерной интерферометрии
3.4 Обсуждение результатов
Глава.4. Эмиссионные и распылительные характеристики
сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления.
4.1 Особенности катодного распыления в квазистационарном сильноточном магнетронном разряде и его использование в технологии импульсного распыления материалов
4.2 Эмиссионные свойства плазмы сильноточного диффузного разряда и их использование в технологии ионностимулированного травления материалов
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА