Ви є тут

Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей

Автор: 
Чумаков Сергей Николаевич
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
1999
Кількість сторінок: 
112
Артикул:
1000269770
179 грн
Додати в кошик

Вміст

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ФИЗИЧЕСКАЯ СХЕМА ИМПЛАНТЕРА, ЕГО ОСНОВНЫЕ УЗЛЫ И СИСТЕМЫ..
1.1 Ионные источники
.2 Ускорительная трубка.
1.3 Сепарирующий маг нит
1.4 Приемная камера.
1.4. Конструкция приемной камеры, методы измерения дозы облучения
1.4.2 Схема измерения дозы
1.5 Конструктивные особенности
ГЛАВА 2. СИСТЕМА ПИТАНИЯ
2.1 Генератор высокою напряжения
2.1.1 Основной высоковольтный выпрямитель.
1.1.2 Трехфазный высокочастотный преобразователь
2.2 Высоковольтный терминал.
2.2.1 Система передачи мощности на высокий потенциал
2.2.2 Система питания ионных источников, принципы разделения управляющих и Сизовых модулей, состав и конструкция крейтов высоковольтного терминала.
2.3 Система питания на низком потенциале
ГЛАВА 3. СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ.
3.1 Концепция распределенной системы управления.
3.2 Архитектура распределенной системы управления для имплантера
3.3 Многофункциональный одноплатный помехоустойчивый контроллер ЛОКУС.
3.3.1 Схемотехника контроллера вЛОКУС
3.4 Программируемый модуль блокировок.
3.5 Программное обеспечение.
3.5.1 Протокол связи и структура микропрограммы контроллера ЛОКУС.
ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИСПЫТАНИЙ ИМПЛАНТЕРА.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ПРИЛОЖЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ