Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния, модифицированного углеродом

Оглавление
Введение
1. Электрические и оптические свойства пористых пленок
1.1. Структура и технология получения пористых пленок.
1.2. Электрические свойства пористых пленок
1.3. Оптические свойства пористых пленок.
1.4. Газопоглощение в пористых пленках.
2. Методика подготовки образцов и техника эксперимета
2.1. Структура образцов
2.2. Нанесение пористых пленок двуокиси кремния
2.3. Измерительные установки.
3. Свойства пористых слоев диоксида кремния
3.1 Структура и состав пленок 8Ю2С
3.2. Зависимость ширины оптической щели пленки от процентного содержания графита в составе мишени кремнийграфит.
3.3. Зависимость пористости пленки от процентного содержания графита в составе мишени кремнийграфит
3.4. Электрическая прочность.
3.5. Выводы по главе.
4. Возможные области применения пористых слоев 8ЮС.
4.1. Чувствительный элемент сенсора паров углеводородов
4.2. Элемент энергонезависимой памяти
4.3. Ненакаливаемый источник электронов
4.4. Выводы по главе
Заключение
Список используемых источников