СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. Механизмы генерации и детектирования терагерцового излучения в
полупроводниках и полупроводниковых структурах, (обзор литературы)
§ 1.1 Механизмы и закономерности генерации терагерцового излучения на горячих носителях заряда в p-Cie.
і
§ 1.2 Теоретические и экспериментальные исследования
фотовольтаическогого отклика на терагерцовое излучение двумерного электронного газа в канале полевых транзисторов.
§ 1.3 Теоретическая модель Лифшиц-Дьяконова фотовольтаического отклика двумерного электронного ідза в канале полевого транзистора, помещенного в магнитное поле.
Глава 2. Методики экспериментальных исследований.
§2.1 Определение спектральных характеристик излучения циклотронного p-Ge лазера терагерцового диапазона методами Фурье- и газовой спектроскопии.
§ 2.2 Параметры исследованных полевых транзисторов.
§ 2.3 Методика измерении фотовольтаического отклика полевых транзисторов на терагерцовое излучение в диапазоне температур 5-300 К в отсутствие магнитного ноля.
§ 2.4 Методика измерений вольт-амиерных характеристик полевых транзисторов при исследованиях в магнитном поле.
§ 2.5 Регистрация магнетосопротивления полевых транзисторов и его производной по напряжению на затворе.
§ 2.6 Методика измерений фотовольтаического отклика полевых транзисторов на терагерцовое излучение в квантующем магнитном поле.
§ 2.7 Особенности измерений фотовольтаического отклика полевых транзисторов в магнитном поле при наличии постоянного электрического тока сток-исток в канале транзистора.
Глава 3. Выботр и оптимизация условий генерации и создание
перестраиваемого циклотронного лазера терагерцового диапазона Fia основе
p-Gc.
5
17
17
22
35
42
42
44
48
50
52
53
56
58
-2-
§3.1 Оптимальная кристаллографическая ориептация р-ве для генерации терагерцового излучения на циклотронных переходах горячих носителей заряда в скрещенных электрическом и магнитном полях.
§ 3.2 Создание перестраиваемого лазера на циклотронных переходах горячих носителей заряда в р-ве для спектроскопических исследований полупроводниковых структур.
§ 3.3 Спектроскопические исследования параметров циклотронного р-ве лазера
Глава 4. Исследование связи величины нерезонансного фотовольтаического
отклика на терагерцовое излучение с проводимостью канала полевых
транзиторов.
§4.1 Экспериментальные результаты исследования величины нерезонансного фотовольтаического отклика на терагерцовое излучение и проводимости канала полевых транзисторов на базе ваЛь, GaN и в диапазоне температур 5 - 275 К.
§ 4.2 Анализ экспериментальных результатов на основе расширенной-модели Дьяконова-Шура. Связь величины нерезонансного фотовольтаического отклика на терагерцовое излучение с проводимостью канала полевых транзиторов.
§ 4.3 Особенности нерезонансного фотовольтаического отклика и переходной вольт-амперной характеристики 81 МОЭРЕТ при низких температурах.
I
Глава 5. Исследование фотовольтаического отклика полевых транзисторов на
терагерцовое излучение в магнитном поле.
§ 5.1 Определение электронных параметров нолевых транзисторов из вольтамерных характеристик и магнетосопротивлсния.
§ 5.2 Исследование фотовольтаического отклика нолевого транзистора на терагерцовое излучение в зависимости от магнитного поля.
§ 5.3 Обнаружение осцилляционных зависимостей величины фотовольтаического отклика нолевого транзистора от магнитного поля и сопоставление с осцилляциями магнетосопротивления и его производной по концентрации электронов.
§ 5.4 Проверка корелляции осцилляций зависимости величины фотовольтаического отклика полевого транзистора от магнитного поля с осцилляциями магнетосопротивления, предложенной в модели Лифшиц-Дьяконова.
§ 5.5 Численное моделирование фотовольтаического отклика в рамках модели Лифпшц-Дьяконова и сопоставление с экспериментальными результатами.
§ 5.6 Универсальность установленной связи величины нерезонансного фотовольтаического отклика на терагерцовое излучение и проводимости канала полевых транзисторов.
§ 5.7 Влияние постоянного электрического тока в канале полевого транзистора на характеристики осцилляций магнетосопротивления и его производной но напряжению на затворе.
§ 5.8 Влияние постоянного электрического тока в канале полевого транзистора на амплитуду и фазу осцилляций фотовольтаического отклика как функции магнитного поля при различных напряжениях на затворе и оптимальные условия детектирования с использованием постоянного тока в канале транзис тора.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ВВЕДЕНИЕ
Одной из важных проблем современной физики твердого тела является так называемое «Терагерцовое окно». Терагерцовая (ТГц) область частот (0,3-10 ТГц) в спектре электромагнитных воли является промежуточной между оптическим и радио диапазонами, что обуславливает ряд характерных особенностей. ТГц излучение отражается металлами, но проникает через, бумагу, пластмассы, сухую древесину и мелкодисперсные материалы из-за существенно меньшей величины рэлеевского рассеяния но сравнению с оптическим диапазоном. В атмосфере ТГц излучение поглощается преимущественно парами воды, однако есть целый ряд окон прозрачности, особенно в низкочастотной части спектра. В ТГц диапазоне лежат вращательные спектры многих органических молекул, включая наркотические вещества и биологически важные коллективные моды ДНК и белков. При-этом энергия квантов ТГц излучения не достаточна для разрушения химических связей молекул, поэтому оно является безопасным для живых существ и, в частности, для человека.
Благодаря своим особенностям, ТГц излучение имеет множество практических применений. Так, в астрофизике ТГц спектроскопия позволяет проследить, например, эволюцию химического состава удаленных объектов. С помощью ТГц излучения можно управлять протеканием химических реакций [1] и манипулировать электронными состояниями в квантовых ямах [2]. В медицине использование ТГц излучения позволяет проводить безвредную для человека диагностику, в том. числе раковых опухолей, глубины и степени ожогов [3]. Также возможно использование ТГц излучения в области телекоммуникации и в сфере безопасности, в частности, для распознавания опасных или наркотических веществ, отправляемых по почте, или для проверки багажа в аэропортах, на вокзалах и в других местах.
В большинстве приложений для детектирования ТГц излучения наиболее желаемым прибором является матрица чувствительных элементов, не превосходящих по размерам длины волны, встроенных в одну интегральную схему и позволяющих проводить наблюдение в режиме реального времени. Среди всех твердотельных детекторов ТГц диапазона наиболее подходящими на роль таких чувствительных элементов представляются обладающие высоким бысгродсйствием и микронными размерами полевые транзисторы, из которых, используя уже известные технологии, можно создать матрицу элементов на базе одной микросхемы. Теоретическая модель детектирования и генерации ТГц излучения полевыми транзисторами была разработана
-5-
М. И. Дьяконовым и М. С. Шуром [4, 5] в середине 90х гг. В 2002 году В. Кнап и соавторы [6-8] экспериментально продемонстрировали детектирование ТГц излучения полевыми транзисторами в широком диапазоне температур (8 - 300 К). В основе механизма детектирования лежит возбуждение падающим излучением плазменных колебаний в двухмерном электронном газе канала транзистора и их последующее выпрямление на нелинейности, связанной с одновременной модуляцией падающим излучением концентрации и дрейфовой скорости носителей в канале. Как правило, возбуждение электронной плазмы, возникшее с одной стороны канала, затухает, прежде чем достигнуть другой стороны, и величина сигнала детектирования слабо зависит от частоты падающего излучения. Но, в определенных случаях, зависимость фотоотклика (выпрямленное напряжение, возникающее между стоком и истоком вследствие детектирования) от частоты падающего излучения.носит резонансный характер [5]. При этом затухание плазменных волн достаточно мало и канал транзистора достаточно короткий, так что транзистор ведет себя как резонатор для плазменных колебаний, собственные частоты которого лежат в ТГц области и зависят от напряжения на затворе, определяющего концентрацию электронов в канале. В дальнейшем было показано [9, 10], что приложенный вдоль канала ток усиливает такой резонансный отклик и делает его более узким. Однако по-прежнему остаются открытыми вопросы о физическом пределе чувствительности полевых транзисторов как детекторов ТГц излучения (особенно при комнатной температуре) и о том, как, помимо оптимизации приемной антенны, можно увеличить их чувствительность. В связи с этим в настоящей работе были проведены исследования нерезонансного детектирования различных типов полевых транзисторов в широком диапазоне температур (5 - 300 К).
Недавно в работе [11] был предложен новый механизм увеличения фотоотклика полевого транзистора за счет приложенного перпендикулярно каналу постоянного магнитного поля. Представленная теоретическая модель является обобщением классической модели Дьяконова-Шура на случай перпендикулярного магнитного поля. В полученной зависимости фотоотклика- от магнитного поля наиболее важными представляются следующие две особенности: резонансный пик при нолях,
соответствующих циклотронному резонансу, который тем выраженнее, чем выше подвижность электронов в канале, и наличие осцилляций, сходных с осцилляциями проводимости Шубникова-дс Гааза. С практической точки зрения эти результаты привлекательны тем, что в случае полевых транзисторов с достаточно высокой
подвижностью приложенное магнитное поле позволит создать селективные и перестраиваемые в широком диапазоне частот детекторы, чувствительность которых будет болсс чем на порядок выше, чем в отсутствие магнитного поля. Кроме того, магнитное поле дает как возможность наблюдения новых эффектов, обусловленных изменением характера взаимодействия электронной плазмы с электромагнитным излучением, так и возможность управляемого воздействия на свойства электронной плазмы в канале транзистора. Это также позволяет более детально изучить механизмы детектирования. Поэтому одна из частей данной работы посвящена изучению влияния перпендикулярного магнитного поля на фотоотклик полевого транзистора.
Еще одна часть диссертационной работы заключалась в создании перестраиваемого источника излучения ТГц диапазона. В настоящее время в ТГц области существует ряд источников излучения. В низкочастотной части спектра средствами микроэлектроники, использующей в качестве источников диоды Ганна и лавино-пролетные диоды с последующим умножением частоты, удается получить дискретный набор частот до 1-1,2 ТГц. Лампы обратной волны (ЛОВ) обеспечивают непрерывную перестройку частоты от 0,1 до 1,5 ТГц [12]. В более высокочастотной области- спектра созданы квантовые каскадные лазеры, излучающие в диапазоне от примерно 1,6 ТГц и выше [13, 14], хотя мощность излучения в области 1,6-2,5 ТГц все еще мала по сравнению с болсс высокими частотами. Кроме того, ТГц область закрывается большим набором дискретных частот, генерируемых громоздкими и достаточно сложными в эксплуатации газовыми лазерами [15, 16]; а также непрерывно перестраиваемым излучением лазеров на свободных электронах [17], которые, к сожалению, имеют ограниченный спектр задач из-за своих гигантских размеров.
Среди всего набора компактными непрерывно перестраиваемыми в широком диапазоне источниками ТГц излучения являются лишь ЛОВ, закрывающие только низкочастотную часть спектра. Создание прибора, дающего непрерывно перестраиваемое узкополосное излучение в области частот более 1,5 ТГц, является весьма актуальной задачей, например, для спектральных исследований веществ. В качестве активной среды для такого источника можно использовать р-Ое в сильных скрещенных электрическом и магнитном полях, в котором реализуются диа типа генерации излучения: на межподзонных переходах дырок и на циклотронных переходах легких дырок. Первый тип характеризуется высокой интегральной мощностью и многомодовым спектром излучения, существенное изменение частоты излучения при
-7-
этом возможно лишь с помощью набора внешних резонаторов, усиливающих те или иные моды, что существенно усложняет задачу конструирования непрерывно перестраиваемого лазера на этом типе переходов. Другой тип генерации излучения, основанный на циклотронных переходах легких дырок, даст узкую линию излучения, частота которой плавно меняется с приложенным магнитным полем и перекрывает необходимый диапазон частот (1,2-2,8 ТГц). Именно этот режим генерации р-ве был выбран в данной работе для изготовления перестраиваемого лазера ТГц диапазона и создания на его основе ТГц спектрометра.
Целями диссертационной работы являлись:
1. Исследование закономерностей явления терагерцового- фотоотклика в полевом, транзисторе в зависимости от напряжения на затворе, температуры и параметров двумерного электронного газа высокой плотности (электрон-электроннос рассеяние является превалирующим) и сопоставление этого явления с основными выводами гидродинамической модели Дьяконова-Шура.
2. Исследование закономерностей явления терагерцового фотоотклика в: полевом транзисторе при низких температурах в квантующих магнитных полях. Исследование особенностей маг нстосопротивления, установление связи между нерезонансным тсрагерцовым фотооткликом и магнетосопротивлением полевог о транзистора, сопоставление характера этой связи с теоретической моделью.
3. Исследование генерации терагерцового излучения на циклотронных переходах в дырочном германии, разработка и создание лазерного спектрометра терагерцового диапазона на основе перестраиваемого р-ве лазера для спектроскопии г'азов и твердых тел.
Научная новизна
Научная новизна работы определяется оригинальностью поставленных экспериментов, полученными новыми результатами, и заключается в следующем:
1. Впервые экспериментально подтверждена связь между нерезонансным терагерцовым фотооткликом, ДС/, и проводимостью канала полевого транзистора, гг, опреде.1шемая соотношением Д(/~с1Ьп(<7)/с1л, где п — концентрация электронов в канале, следующим из гидродинамической модели Дьяконова-
-8-
Шура. Показано, что это соотношение имеет универсальный характер и не зависит от конструктивных особенностей транзистора и внешних факторов, влияющих на электропроводность (температура, магнитное поле).
2. Впервые экспериментально установлена связь между осцилляциями магнетосопротивления и осциллирующей зависимостью нерезонансного терагерцового фотоотклика полевого транзистора от магнитного поля.
3. Проведено сопоставление результатов экспериментальных исследований нерезонансного терагерцового фотоотклика полевого транзистора в магнитном ноле, полученных в настоящей работе, с теоретической моделью Лифшиц-Дьяконова. В' результате было показано, что экспериментально наблюдаемое соотношение между осцилляциями магнетосопротивления и фотоотклика (совпадение периодов, наличие сдвига фаз на л/2) полностью соответствует предсказаниям теории. Однако, предсказанный моделью Лифшиц-Дьякоиова максимум фотоотклика вблизи циклотронного поля экспериментально не наблюдается, что указывает на необходимость дальнейшего развития данной теоретической модели.
Научная н практическая значимость работы
В работе впервые экспериментально показано, что сигнал нерезонансного терагерцового фотоотклика полевого транзистора однозначно связан с электропроводностью его канала.. Это соотношение носит универсальный характер и не зависит от конструктивных особенностей транзистора и внешних факторов, влияющих на электропроводность (температура, магнитное поле).
В работе проведена экспериментальная, проверка теории Лифшиц-Дьяконова нерезонансного детектирования, терагерцового излучения полевыми транзисторами в магнитном поле. В результате проверки была показано, что данная теоретическая модель верно описывает влияние эффекта Шубникова-дс Гааза на фотоотклик и связь сигнала детектирования и электропроводности канала. При этом было выявлено расхождение, заключающееся в отсутствии теоретически предсказанного пика максимума фотоотклика как функции магнитного поля, обусловленного влиянием эффекта циклотронного резонанса. Как было показано в работе, данное расхождение указывает на необходимость дальнейшего развития теоретической модели Лифшиц-
Дьяконова.
В работе изготовлен циклотронный р-Се лазер с частотой излучения, плавно перестраиваемой в области 1,2 - 2,8 ТГц, на основе которого был разработан и создан лазерный спектрометр ТГц диапазона.
Основные положения, выносимые на защиту
1. Экспериментально показано, что сигнал нерезонансного терагерцового фотоотклика полевого транзистора формируется именно в канале транзистора.
2. Сигнал нерезонансного терагерцового фотоотклика полевого транзистора однозначно связан' с электропроводностью его канала. Это соотношение носит универсальный характер и не зависит от конструктивных особенностей транзистора и внешних факторов, влияющих на электропроводность (температура, магнитное поле).
Содержание
Во Введении обоснована актуальность темы исследования, показана её научная новизна, сформулированы цели работы и приведены положения, выносимые на защиту.
В Главе 1 дан обзор литературы по вопросам, рассматриваемым в диссертации. Первый параграф Главы 1 посвящен генерации терагерцового (ТГц) излучения на горячих носителях заряда в р-вс. Представлены два возможных механизма генерации в скрещенных электрическом и магнитном полях: на межподзонных дырочных переходах и на переходах между уровнями Ландау подзоны легких дырок. Показано, что для возникновения как межподзошюй, так и циклотронной (между уровнями Ландау подзоны легких дырок) генерации ключевую роль играют процессы рассеяния дырок на оптических фононах, акустических фононах и примесях. Благодаря разнице в эффективных массах дырок в легкой и тяжелой подзонах, при определенных значениях приложенных электрического и магнитного нолей, становится возможным создание ловушки исключительно в легкой подзоне, что приводит к эффективному накоплению легких дырок, в то время как тяжелые дырки быстро рассеиваются на оптических фононах. Возникающая в результате инверсия населенностей легкой и тяжелой подзон приводит к межиодзонной генерации терагерцового излучения. Циклотронная же генерация требует также наличие следующих двух условий. Первое - это инверсия
населенностей уровней Ландау легкой подзоны, которая возникает за счет сильного взаимодействия нижних уровней с тяжелой подзоной, приводящего к оттоку легких дырок. Поскольку интенсивность взаимодействия резко падает с увеличением номера уровня Ландау, возникает инверсия населенностей в подзоне легких дырок. Однако за счет взаимодействия с тяжелой подзоной уменьшается эффективность накопления дырок в легкой подзоне, в результате чего пропадает межподзонная генерация. Вторым условием циклотронной генерации является нсэквидисгантностъ.у ровней Ландау легкой подзоны, которая также возникает за счет взаимодействия нижних уровней с тяжелой подзоной, что приводит к некоторому увеличению энергии этих уровней;
• Второй параграф Главы 1 посвящен детектированию- ТГц излучения короткоканальными полевыми транзисторами. Здесь освещены.основные теоретические и экспериментальные результаты исследований- данного явления. Подробно представлена гидродинамическая модель Дьяконова-Шура, являющаяся, базовой, теорией детектирования ТГц излучения. В данной- модели канал транзистора представляется в виде электронной жидкости, в. которой под действием падающего-высокочастотного излучения происходит возбуждение плазменных волн. В результате, в силу нелинейности плазмы по отношению к внешнему переменному электрическому полю, это приводит к возникновению постоянного напряжения между стоком и истоком транзистора, которое называется фотооткликом. Из теории Дьяконова-Шура следует, что в зависимости от параметров полевой транзистор может работать как резонансный или широкополосный детектор. В первом случае, когда процессы- затухания-слабы и-канал транзистора достаточно короткий, возникает стоячая волна, и транзистор ведет себя как резонатор для-плазменных волн. Во вгором случас возникшее на одном-конце канала возбуждение электронной плазмы затухает, прежде чем достигнуть другого конца, и фотоотклик транзистора слабо зависит от частоты падающего излучения. Оба предсказанных режима детектирования наблюдались экспериментально.
В третьем параграфе Главы 1 представлена теоретическая модель Лифшиц-Дьякопова детектирования. ТГц излучения короткоканальным полевым транзистором, помещенным в магнитном поле. Данная: модель является обобщением теории Дьяконова-Шура и рассматривает только нерезонансный режим детектирования. В качестве основного результата, данная теория предсказывает наличие двух ярких эффектов в зависимости фотоотклика от магнитного поля. Первый - это максимум детектирования вблизи магнитного поля, соответствующего циклотронному резонансу.
- 11 -
- Київ+380960830922