Содержание
Введение
Г лава 1. Основные методы формирования углеродных алмазоподобных покрытий, свойства получаемых конденсатов
1.1. Свойства углеродных алмазоподобных покрытий, получаемых конденсацией углерода в условиях ионной бомбардировки
1.2. Дефекты в кристаллах, физические модели ионноиндуцированного уплотнения покрытий
Выводы к главе
Глава 2. Радиационнодиффузионная модель уплотнения углеродного конденсата ионами, учитывающая эволюцию радиационных дефектов в термически активируемых диффузионных процессах
2.1. Моделирование атомных столкновений и уплотнения углеродного конденсата, вызванных ионной бомбардировкой
2.2. Эволюция радиационных точечных дефектов в углеродном конденсате
Выводы к главе
Глава 3. Аналитические зависимости свойств углеродных конденсатов от условий формирования
3.1. Зависимость плотности углеродных конденсатов и внутренних напряжений в них от энерии ионов и степени ионизации потока углерода
3.2. Влияние температуры подложки на плотность углеродных покрытий и внутренние напряжения в них
Выводы к главе
Глава 4. Импульсный метод формирования углеродных
алмазоподобных покрытий, учитывающий роль радиационных дефектов в формировании конденсата с заданными свойствами
4.1. Анализ существующих методов формирования углеродных алмазоподобных покрытий
4.2. Определение основных параметров процесса, обеспечивающих
формирование алмазоподобного покрытия.
Выводы к главе 4
Глава 5. Результаты экспериментальных исследований
5.1. Методики исследования свойств углеродных конденсатов
5.2. Экспериментальная установка
5.3. Импульсный источник углеродной плазмы
5.4. Зависимости плотности, модуля Юнга, микротвердости 7 углеродных покрытий и внутренних напряжений в них от энергии ионов углерода и температуры подложки
Выводы к главе 5
Заключение
Испол ьзова I ная литература
Приложение
Введение
Актуальность
- Київ+380960830922