Содержание
Введение
Глава 1. Алмазонодобные углеродные покрытия, методы получения, структура, внутренние напряжения и морфология поверхности
1.1. Углерод и его формы. Алмазоподобные углеродные покрытия, структура и свойства
1.2. Анализ существующих РУЭ методов синтеза алмазоподобных углеродных покрытий
1.3. Внутренние напряжения в углеродных покрытиях
1.4. Методы измерения внутренних напряжений в покрытиях
1.5. Модели формирования алмазоподобных углеродных покрытий, объясняющие возникновение внутренних напряжений
1.6. Способы снижения внутренних напряжений
1.7. Морфология поверхности алмазоподобных углеродных покрытий Выводы к главе
Глава 2. Методика эксперимента, оборудование и материалы
2.1. Получение образцов наноразмерных углеродных покрытий
2.2. Исследование структуры углеродных покрытий
2.3. Определение величины внутренних напряжений в углеродных покрытиях
2.4. Исследование морфологии поверхности углеродных покрытий
Глава 3. Закономерности формирования структуры, внутренних напряжений и морфологии поверхности углеродных покрытий
3.1. Результаты исследований структуры наноразмерных углеродных покрытий
3.2. Зависимости величины внутренних напряжений в наноразмерных углеродных покрытиях от условий формирования
3.3. Зависимости морфологии поверхности наноразмерных углеродных покрытий от условий формирования
3.4. Влияние последующего отжига на величину внутренних напряжений в наноразмерных углеродных покрытиях
Выводы к главе 3
Глава 4. Феноменологическая модель возникновения внутренних
напряжений в углеродных покрытиях, учитывающая глубину
залегания радиационных дефект ов. Роль внутренних напряжений
сжатия в процессе структурообразования
4.1. Феноменологическая модель возникновения внутренних напряжений в углеродных покрытиях, учитывающая глубину залегания радиационных дефектов
4.2. Роль внутренних напряжений сжатия в процессе структурообразования
Выводы к главе 4
Заключение
Список использованной литературы
- Київ+380960830922