Совершенство структуры и свойства пленок оксида цинка, получаемых ионным распылением

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. Литературный обзор
1.1. Общая характеристика оксида цинка
1.2. Методы получения ориентированных и монокристаллических слоев и пленок 2п0
1.3. Зависимость структурного совершенства и свойств
пленок 2пО от условий получения.
1.4. Методы получения ориентированных слоев и пленок
на неориентирующих подложках
1.5. Особенности кристаллизации оксида цинка
и постановка задачи.
ГЛАВА II. Методика эксперимента
2.1. Описание установки для получения пленок 2пО магнетронным методом
2.2. Методика подготовки подложек и изготовления
мишеней 2пО.
2.3. Оценка совершенства структуры и определение ориентации пленок 2пО методом дифракции быстрых электронов .
ГЛАВА III. Одноосная эпитаксия оксида цинка на поверхности аморфной структуры. Условия и механизм формирования одноосноэпитаксиальных и эпитаксиальных пленок 2пО.
3.1. Зависимость совершенства структуры пленок 2пО
на аморфной поверхности от условий получения
3.2. Одноосная эпитаксия оксида цинка на аморфной поверхности.
3.3. Механизм формирования пленки 2п0 одноосноэпитаксиальной структуры.
3.4. Особенности роста эпитаксиальных пленок
на подложках из монокристалл ического сапфира
Выводы.
ГЛАВА IV. Зависимость электрических и оптических свойств
пленок оксида цинка от условий получения.
4.1. Свойства межзерениых границ в 2п0
4.2. Зависимость удельного сопротивления пленок 2пО от
условий получения.
4.3. Зависимость фотоэлектрических свойств пленок
от условий получения
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА