Ви є тут

Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии

Автор: 
Коваленко Владислав Борисович
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
2001
Кількість сторінок: 
233
Артикул:
1000334848
179 грн
Додати в кошик