Сенсорные МДП-элементы для полупроводниковых интегральных водородочувствительных датчиков

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ КОНЦЕНТРАЦИЙ ГАЗОВ
1.1. Состояние разработок интегральных сенсоров для измерения концентраций газов
1.1.1. Резисторные и резисторномкостные сенсоры
1.1.2. Каталитические и электрохимические сенсоры
1.1.3. Массочувствительные сенсоры.
1.1.4. Сенсоры на основе МДПструктур и диодов Шотки.
1.1.5. Оптические и оптоволоконные датчики.
1.2. Перспективы создания и области применения новых приборов на основе
интегральных газовых сенсоров
Выводы.
Глава 2. АНАЛИЗ ФИЗИЧЕСКИХ МЕХАНИЗМОВ ВОДОРОДНОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛДИЭЛЕКТРИКПОЛУПРОВОДНИК.
2.1. МДПструктура с палладиевым затвором. ГГГГ.7.7ГГ
2.1.1. Упрощенная модель.
2.1.2. Термодинамическая модель
2.1.3. Модель изменения работы выхода в металле
2.2. МДПтранзистор с палладиевым затвором.
2.2.1. МДПтранзистор
2.2.2. Уточнение физикоматематической модели работы МДПтранзисторных газочувствительных элементов на основе экспериментальных данных
2.2.3. Чувствительность к водороду МДПтранзисторного сенсорного элемента
с двухслойным диэлектриком.
Выводы.
Глава 3. КОНСТРУКТИВНОТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА.
3.1. Интегральные датчики водорода серии ИДВ1.
3.2. Интегральные датчики водорода серии ИДВ2.
3.3. Интегральные датчики водорода серии ИДВ3.
3.4. Маршрут технологического цикла изготовления датчиков серии
Выводы.
Глава 4. МЕТОДИКА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ И ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК СЕНСОРНЫХ МДПТРАШИСТОРНЫХ И РЕЗИСТОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
4.1. Параметры отклика и метрологические характеристики сенсорных элементов
4.2. Измерительный стенд доя проведения исследований параметров
отклика
4.3 Общая методика проведения измерений параметров отклика с МДП
транзисгорных сенсорных элементов интегрального датчика водорода
4.4 Влияние на метрологические характеристики МДПтранзисторных водородочувствительных элементов технологических отжигов и газовых тренировок.
4.5. Влияние электрического режима, температуры кристалла и временного дрейфа на параметры отклика МДПтранзисторного водородочувствительного
элемента с палладиевым затвором
Выводы.
Глава 5. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК МДПТРАНЗИСТОРНЫХ И РЕЗИСТОРНЫХ СЕНСОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА.
5.1. Исследование стабильности и воспроизводимости характеристик МДПтранзисторных сенсорных элементов интегральных датчиков водорода при их долговременной эксплуатации
5.2. Анализ параметров модели
5.3. Исследование паразитного влияния водородосодержащих газов паров аммиака и бензина, а также светового и УФизлучений на параметры отклика МДПтранзисторных водородочувствительных элементов.
5.4. Рекомендации но эксплуатации практическому применению
интегральных датчиков водорода с МДПтранзисторным чувствительным элементом.
5.5. Исследование сенсорных элементов на основе палладиевого
тонкопленочного резистора.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ