Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения

СОДЕРЖАНИЕ Введение
1 Основные направления развития и аппаратурное обеспечение эллипсометрии высокого пространственного разрешения.
1.1 Основы метода эллипсометрии.
1.2 Основные направления эллипсометрии высокого пространственного разрешения.
1.2.1 Отображающая микроэллипсометрия
1.2.2 Микроэллипсометрия на основе сфокусированного
пучка света
2 Анализ и выбор оптимального метода эллипсометрических измерений с высоким пространственным разрешением.
2.1 Обоснование выбора.
2.2 Исследование и анализ основных факторов, влияющих на точность эллипсометрических измерений контрастных микрообъектов
2.3 Расчет параметров фокусирующего микрообъектива.
3 Разработка и исследование оптимальной
измерительной схемы эллипсометра.
3.1 Анализ и разработка статической двухканальной измерительной схемы
3.2 Анализ чувствительности статической
двухканальной измерительной схемы
3.3 Анализ основных систематических погрешностей.
4 Сканирующий эллипсометр высокого пространственного разрешения.
4.1 Работа и устройство эллипсометра.
4.2 Юстировка эллипсометра.
4.3 Испытания и результаты измерений.
Заключение
Библиография