Разработка и исследование дифракционных методов измерений на основе зеркальной апертуры

ВВЕДЕНИЕ. Дифракционные методы контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов. Формулировка цели и постановка
задач исследования
ГЛАВА 1. Описание дифракционных методов контроля с позиции Фурьеоптики. Основные математические модели
1.1 Формирование измерительного сигнала в ДМК. Способы извлечения информации о параметрах объекта из измерительного сигнала.
1.2 Оптические системы обработки информации, использующие фазовую информацию в измерительном сигнале
1.2.1 Центрирование оптических систем методом ассиметрии
1.2.2 Дифракционный метод фазирования сегментной оптики.
1.2.3 Дифракционный метод контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов, использующий точки инверсии фазы в частотном спектре
1.2.4 Когерентная измерительная система, основанная на комбинации интерференционного поля и синусоидальной дифракционной
решетки.
Основные результаты и выводы по главе.
ГЛАВА 2. Теоретическое исследование дифракционных схем контроля вносящих фазовую информацию о параметрах контролируемого объекта на стадии формирования входного сигнала
2.1 Формирование входного фазового сигнала, несущего информацию о геометрических параметрах объекта.
2.2 Расчет дифракционной картины от апертуры, образованной краем контролируемого объекта и плоской отражающей поверхностью
2.3 Интерпретация возникающей в дифракционной картине системы полос как муаровой и исследование взаимосвязи между параметрами
полос и геометрической формой апертуры. Точностной анализ ОСОИ на базе зеркальной апертуры
2.4 Анализ источников искажения частотного спектра.
2.5 Расчет дифракционной картины от модифицированной зеркальной апертуры. Исследование муаровой картины, полученной вычитанием
частотных спектров.
Основные результаты и выводы по главе
ГЛАВА 3. Экспериментальное исследование ДМК, использующей зеркальную апертуру.
3.1 Программа экспериментальных исследований и описание установки для проверки основных положений и выводов теоретической части
работы.
3.2 Предварительная обработка муаровой картины.
3.3 Методика проведения и результаты экспериментальных
исследований.
Основные результаты и выводы по главе
ГЛАВА 4. Исследование возможностей практического применения ОСОИ формирующей фазовый сигнал измерительной информации
4.1 Исследование возможности применения ОСОИ использующей зеркальную апертуру для контроля прямолинейности профиля кромок
объектов.
4.2 Другие возможные области применения разработанной ОСОИ для контроля геометрических параметров объектов
4.3 Исследование возможности применения ОСОИ для контроля
пространственного положения объектов.
Основные результаты и выводы по главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.ИЗ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ