СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
Глава 1. Анализ современного состояния и тенденций развития вакуумметрического приборостроения
1.1 Вакуум как объект исследования с позиций измерительной техники1
1.2 Обобщенная характеристика методов и принципов
измерения пониженного давления
1.3 Анализ тенденций развития современного
вакуумметрического приборостроения
1.4 Анализ состояния отечественного вакуум метрического
приборостроения и постановка задачи исследования
Основные результаты и выводы по главе 1.
Глава 2. Разработка принципов построения информационноизмерительных систем для измерения пониженных давлений
2.1 Анализ требований к проектированию информационноизмерительных систем для измерения пониженного давления.
2.2 Разработка обобщенной структурной схемы
интеллектуального датчика вакуума.
2.3 Особенности организации функционирования
интеллектуального датчика вакуума.
2.4 Разработка обобщенной структуры электронного блока вакуумметра и алгоритма его работы
2.5 Разработка информационноизмерительной системы для измерения параметров процесса откачки вакуумных
коммутирующих устройств.
Основные результаты и выводы по главе 2.
Глава 3. Разработка и исследование интеллектуальных
датчиков низкого и среднего вакуума
3.1 Анализ физикохимических процессов, протекающих в датчиках низкого и среднего вакуума
3.2 Разработка и исследование терморезистивных датчиков
вакуума
3.3 Разработка и исследование термопарных датчиков вакуума
Основные результаты и выводы по главе 3.
Глава 4. Разработка и исследование интеллектуальных
датчиков высокого вакуума.
4.1 Особенности контроля давления при высоком вакууме
4.2 Разработка и исследование высоковольтных источников напряжения
4.3 Способы построения измерителей токов для датчиков
высокого вакуума
4.4 Способы расширения диапазона преобразования
абсолютного давления
Основные результаты и выводы по главе 4.
Заключение. Основные результаты и выводы по работе
Перечень принятых сокращений
Список используемых источников
- Київ+380960830922