Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. Высокие технологии и воздушная среда чистых помещений
1.1. Особенности технолоши микроэлектроники
1.2. Микроклимат и чистота воздуха
1.3. Физикохимические основы процесса агломерации наночастиц
1.4. Механизм образования агломератов
Выводы и постановка задачи
Глава 2. Моделирование процесса роста агломератов в воздушном потоке
2.1. Математические модели коагуляции частиц
2.2. Физическое обоснование свойств ядра кинетического уравнения
М. Смолуховского при построении процесса коагуляции
2.3. Решение уравнения М. Смолуховского на основе теории функциональных решений
2.4. Математическая модель пространственнооднородного процесса коагуляции наночастиц
Выводы .
Глава 3. Компьютерное моделирование процесса коагуляции наночастиц
3.1. Алгоритм имитации столкновений и слияния ианочастиц
3.2. Описание программного продукта для изучения динамики аэрозоля в чистом помещении в зависимости от различных параметров
3.3. Порядок работы с программой
3.4. Оценка результатов исследования
3.5. Рекомендации но соблюдению нужного класса чистоты и контролю нанозагрязнений в микро и наноэлектронике
Выводы
Глава 4. Экспериментальное исследование поведения аэрозоля в чистом помещении микроэлектроники
4.1. Методика проведения комплекса экспериментов
4.2. Измерение концентрации наночастиц при изменении параметров микроклимата температура, влажность
4.3. Измерение концентрации наночасгиц с учетом расстановки оборудования
4.4. Проверка математической модели на адекватность Выводы
Заключение Список литературы Приложение Приложение I Приложение
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность