Содержание Стр.
Введение
1. Анализ методов исследования микроструктуры поверхности
1.1. Сканирующие зондовые микроскопы.
1.2. Электронный микроскоп.
1.3. Метод темного поля
1.4. Конфокальные микроскопы
1.5. Интерференционный микроскоп белого света.
1.6. Эллипсометрические методы
1.7. Фазовоконтрастные и интерференционные методы.
1.8. Когерентность источника в интерференционных методах
1.9. Методы извлечения фазовой информации, используемые в интерференционных микроскопах.
Выводы но первой главе
2. Разработка интерференционного метода прецизионных фазовых измерений.
2.1. Моделирование микроинтерферометрических измерений
2.1.1. Прохождение поляризованной волны через интерферометр
2.1.2. Шумы и чувствительность интерферометра. Отношение сигналшум.
2.1.3. Влияние пространственной спеклструктуры системы.
2.2. Измерение фазы методом временных интервалов
2.3. Дифракционное формирование изображения субволновых структур.
2.3.1. Дифракционная структура поля на объекте
2.3.2. Преобразование объектной волны оптической системой микроинтерферометра
2.4 Схемная модель системы
Выводы по второй главе
3. Разработка прецизионного интерференционного микроскопа
3.1. Разработка оптической системы микроинтерферометра
3.1.1. Особенности проведения габаритного расчета
3.1.2. Светоэнергетический анализ системы
3.1.3. Аберрационный расчет и оптимизация параметров компонентов и подсистем.
3.2. Особенности разработки электронной информационной преобразующей системы.
3.2.1. Реализация метода временных интервалов на современной элементной базе.
3.2.2. Фильтрация шумов интерференционного сигнала.
3.2.3. Принцип связанных интерферометров.
3.2.3.1. Динамическая компенсация вибраций.
3.2.3.2. Измерения по гибридному алгоритму.
3.3. Разработка алгоритма измерения фазы
3.3.1. Измерение фазы по методу временных интервалов в режиме компенсации вибраций
3.3.2. Измерение фазы по гибридной схеме.
3.3.3. Устранение неопределенности 2тс восстановление фазы
Выводы по третьей главе
4. Экспериментальная верификация метода.
4.1. Описание экспериментальной установки
4.2. Экспериментальная проверка основных точностных характеристик метода.
4.2.1. Измерения динамических процессов.
4.2.2. Измерение наноступеньки
4.2.3. Измерение узкой канавки
4.2.4. Измерение сверхгладкой подложки нанотопография
4.2.5. Обнаружение нанообъектов.
4.2.6. Анализ полученных экспериментальных данных
4.3. Практические применения установки.
Выводы по четвертой главе. П
Заключение и общие выводы
Библиография
- Київ+380960830922