Разработка и исследование методов и средств метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов

Введение
Глава 1. Сканирующие зондовые микроскопы. Переход от средств визуализации к средствам измерения.
1.1. История сканирующей зондовой микроскопии
1.2. Классификация СЗМ
1.3. Метрологическое обеспечение сканирующей зондовой микроскопии Глава 2. Формализованное описание СЗМ как средства измерения.
2.1. Принципы построения модели СЗМ
2.2. Реализация системы координат СЗМ при помощи трубчатого пьезоэлектрического манипулятора
2.3. Алгоритм сканирования в режиме постоянной силы
2.4. Взаимодействие зонда и образца
2.5. Разрешающая способность СЗМ. Ее соотношение с межатомными расстояниями и влияние на погрешность измерения
Глава 3. Принципы проверки математической модели СЗМ и экспериментальная реализация такой проверки.
3.1. Принципы экспериментальной проверки адекватности математической модели СЗМ
3.2. Сравнительные измерения мер при помощи СЗМ и некоторых других средств измерения нанометрового диапазона
Глава 4. Погрешность измерений при помощи СЗМ и ее составляющие.
4.1. Нелинейность иьезокерамики
4.2. Гистерезис пьезокерамики
4.3. Запаздывание прохождения сигнала крип пьезокерамики
4.4. Температурный дрейф пьезокерамики
4.5. Старение пьезокерамики
4.6. Формализация понятия поверхности твердого тела для случая
взаимодействия зонда и образца
4.7. Неидсалыюсть геометрической формы зонда и эффект кажущегося уширения образца
4.8. Влияние вибраций на СЗМ
4.9. Шумы электроники
4 Погрешность, связанная с дискретизацией АЦГ1
4 Погрешность, связанная с фотодетектором
4 Деформация поверхности образца под действием сканирующего зонда
Глава 5. Средства метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов.
5.1. Модель идеальной меры для метрологического обслуживания СЗМ
5.2. Использование существующих рельефных мер нанометрового диапазона для метрологического обслуживания СЗМ
5.3. Динамическая мера. Теоретическое и экспериментальное исследование возможности ее применения для метрологического обслуживания СЗМ
5.4. Динамическая мера как оптимальное средство измерения разрешающей способности СЗМ
Глава 6. Метрологическое обеспечение перехода СЗМ из средств визуализации в средства измерения.
6.1. Обоснование выбора параметров СЗМ, требующих метрологического контроля
6.2. Разработка методов проведения калибровки и поверки СЗМ
6.3. Практическая реализация калибровки и поверки СЗМ
Выводы
Список литературы