Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии

Содержание
Введение
1. Современное состояние проблемы использования синтезированных голограммпроекторов в фотолитографии
2. Определение и обоснование требований, предъявляемых к структуре и методам расчета и отображения синтезированных голограммпроекторов, предназначаемых для использования в голографическом фотолитографическом процессе
2.1 Сравнительный анализ разрешающей способности генератора
изображений, необходимой для изготовления фотошаблона и формирующей его изображение голограммы проектора
2.2 Оптимизация параметров дискретизации фотошаблона и
голограммы, обеспечивающих минимизацию потерь качества восстанавливаемых изображений.
2.3 Безаберрационное восстановление синтезированных голограмм
проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, значительно превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы
2.4 Выводы.
3 Квантование и дифракционная эффективность сентезированных голофаммпроекторов.
3.1 Сравнение энергетических характеристик традиционного и
голографического методов фотолитографии.
3.2 Анализ влияния параметров дискретизации на дифракционную
эффективность синтезированных голограмм влияние скважности и периода дискретизации
3.3 Влияние бинаризации на энергетические характеристики
синтезированных голограмм.
3.4 Выводы.
4 Программный комплекс синтеза и цифрового восстановления
голофаммпроекторов.
4.1 Алгоритм синтеза голофаммпроекторов.
4.2 Алгоритм восстановления голограммпроекторов.
4.3 Внешний вид программного комплекса синтеза и цифрового восстановления голограммпроекторов
4.4 роверка работоспособности программного комплекса синтеза и
цифрового восстановления голограммпроекторов
4.5 Демонстрация возможности и перспективности использования комплекса для оптимизации параметров синтеза и восстановления голограммпроекторов.
4.6 Исследование влияния бинаризации на качество восстановленного изображения. Оптимизация уровня бинаризации
4.7 Экспериментальное подтверждение возможности безаберрационного восстановления синтезированной голограммы
проектора Френеля при углах падения восстанавливающей плоской волны, превышающих угол падения плоской опорной волны при синтезе
голограммы.
4.8 Выводы.
5. Практическая реализация метода голографической проекционной
фотолито графии, основанного на использовании синтезированной
голограммыпроектора Френеля
Заключение
Список литературы