Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем

СОДЕРЖАНИЕ
ВВНДЕНИЕ
1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ И ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ САПР ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. II
1.1. Краткая характеристика технологического процесса напыления II
1.2. Основные задачи САПР технологических процессов напыления .
1.3. Анализ математических методов решения задач проектирования технологического процесса напыления
1.4. Постановка задачи исследования
2. МЕТОДИКА РАЗРАБОТКИ МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ.
2.1. Исследование задач проектирования.
2.2. Методика построения математических моделей процесса напыления для автоматизированного проектирования
2.2.1. Последовательность этапов анализа технологического процесса напыления .
2.2.2. Эмпирический метод получения критериев подобия.
2.2.3. Метод исследования моделей,
представленных многомерными уравнениями теплопроводности .
2.3. Метод решения задач параметрического синтеза при автоматизированном проектировании технологических процессов напыления
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 2.
3. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ИСПАРЕНИЯ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
3.1. Математическая модель процесса испарения
3.2. Разработка математических методов решения задач синтеза при проектировании процесса испарения .
3.3. Проверка и программная реализация разработанных моделей и методов
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3
4. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА МАССОПЕРЕНОСА ПРИ НАПЫЛЕНИИ
ТОНКИХ ПЛЕНОК.
4.1. Математическая модель процесса массопереноса
4.2. Методы расчета геометрии подколпачного оборудования при проектировании
процесса массопереноса .
4.3. Проверка и использование разработанных моделей и методов
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4 .
5. МТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ РЕЖИМОВ КОНДЕНСАЦИИ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
5.1. Математическая модель тепловых режимов конденсации .
5.2. Программная реализация и использование модели для проектирования тепловых режимов конденсации .
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА