Трансформация поверхностной фазы при анодном растворении металлов

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА.
1Л. Характеристики точности электрохимической
размерной обработки.
1.2. Состав, структура, физические характеристики поверхностных пленок при анодном
растворении металлов
1.3. Обзор моделей формообразования
при ЭХО.
1.4. Постановка задач исследования.
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ
ИССЛЕДОВАНИЯ
2.1. Определение логарифмического индекса рассеивания и параметров анодного растворения в проточной электрохимической ячейке.
2.2. Структурночувствительные методы исследования
поверхностных пленок
2.3. Определение погрешности размера и
формы копирования электродаинструмента.
2.4. Статистическая обработка
экспериментальных данных.
ГЛАВА 3. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ТРАНСФОРМАЩИ ПОВЕРХНОСТНОЙ ФАЗЫ ПРИ АЮДНОМ
РАСТВОРЕНИИ МЕТАЛЛОВ
ЗЛ. Модель фазового перехода на границе металлраствор при анодном растворении.
Приближенное решение.
3.2. Анализ уравнения квазистационарной скорости
анодного растворения. Влияющие факторы.
ГЛАВА 4. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МОДЕЛИ ДЛЯ ПОДБОРА
ЭЛЕКТРОЛИТОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ РАЗМЕРНОЙ ОБРАБОТКИ.
4.1. Необходимое и достаточное условия высокой локализации при высокоскоростном анодном
растворении металлов.
4.2. Влияние органических анионов на показатели ЭХО
4.3. Общие рекомендации для электрохимического формообразования с повышенными точностью
копирования и производительностью.
ГЛАВА 5. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПРОЦЕССА ТРАНСФОРМАЦИИ
ПОВЕРХНОСТНОЙ ФАЗЫ ПРИ ЭХО
5.1. Уравнение для расчета времени релаксации оксида при наложении или изменении потенциала
анодной поляризации ПО
5.2. Влияние малых добавок органических анионов
на характеристики поверхностной фазы1
5.3. Практическое применение результатов исследований.
ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ