Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3

ОГЛАВЛЕНИЕ
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1 СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДАМ ОБРАБОТКИ 1ЛЧЬ
1.1 Физикохимические свойства пиобага лития
1.2 Применение ниобата лития
1.3 Методы исследования свойств ниобата лития.
1.4 Методы обработки ниобата лития
1.4.1 Технология механического и жидкостного травления.
1.4.2 Использование плазмы для обработки ниобата лития.
Цель и задачи.
ГЛАВА 2 МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1 Описание установок плазмохимического и радикального травления.
2.2 Описание средств измерения
Выводы к главе 2
ГЛАВА 3 ИССЛЕДОВАНИЕ КИНЕТИКИ И МЕХАНИЗМА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ФТОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЫ С ПОВЕРХНОСТЬЮ иЫЬОз ПРИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ
ТРАВЛЕНИИ
3.1 Влияние внешних параметров газоразрядной плазмы на кинетику
травления ниобата лития.
3.1.1 Изучение механизма образования твердого продукта реакции на поверхности ГлМЪОз.
3.1.2 Определение влияния внешних параметров на интенсивность процесса плазмохимического травления.
3.1.3 Исследование эффекта загрузки при плазмохимическом травлении
3.2 Влияние контролируемых газовых добавок к БГб и СБ4 на скорость травления ЬИЬОз
3.3 Изучение структуры, элементного и фазового состава твердых продуктов реакции на поверхности ГлЫЬОз, стенках реактора и внутрикамерной оснастки.
3.4 Изучение морфологии и шероховатости поверхности ниобата лития после плазмохимического травления.
3.5 Физикохимическая модель взаимодействия фторсодержащей
газоразрядной плазмы с поверхностью 1ЛМЬ
Выводы к главе 3
ГЛАВА 4 ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТРАВЛЕНИЯ НИОБАТА ЛИТИЯ ФТОРСОДЕРЖАЩИМИ РАДИКАЛАМИ.
4.1 Исследование поверхности ниобата лития после радикального травления.
4.2 Кинетика радикального травления ниобата лития.
4.3 Сравнительная характеристика радикального травления 1лМЬ в плазмах СР4, 8Р6 и смеси газов на их основе
4.4 Особенности травления 1ЛКЮ3 фторсодержащими радикалами в РРК
вертикального типа с индукционным возбуждением разряда.
Выводы к главе 4.
ГЛАВА 5 ИЗУЧЕНИЕ НЕГАТИВНЫХ ЭФФЕКТОВ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ.
5.1 Полимеризация пленок на обрабатываемых поверхностях при плазмохимическом травлении.
5.2 Возникновение радиационных повреждений в процессах
плазмохимического травления.
5.3 Примесные загрязнения в процессах плазмохимического травления
Выводы к главе 5
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ