СОДЕРЖАНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ
1 СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА ГШЕНКООБРАЗОВАНИЯ В ОБОРУДОВАНИИ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
1.1 Принципы моделирования технологических процессов.
1.2 Особенности моделирования технологических процессов тонкопленочной технологии
1.3 Структура модели сложных процессов в исполнительных устройствах
1.4 Модель пленкообразования на основе управляемого энерго,массопереноса
1.5 Обзор экспериментальных исследований и сопоставление с теоретическими моделями процессов
1.6 Математическая модель магнетронных распылительных систем для нанесения пленок в оборудовании непрерывного действия.
1.7 Постановка задачи исследований
2 ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ПЛЕНКООБРАЗОВАНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ МИКРОСТРУКТУР ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ.
2.1 Математическая модель пленкообразования при использовании
координатных устройств
2.2 Математическая модель осаждения вещества при плоскопараллельном перемещении подложки .
2.3 Определение скорости осаждения вещества на подложку
2.4 Взаимодействие технологических частиц с поверхностями вакуумной камеры
2.5 Влияние погрешности координатного привода на погрешность
пленкообразования.
Выводы по главе 2
3 РЕЗУЛЬТАТЫ МАНГИННОГО ЭКСПЕРИМЕНТА ПРОЦЕССА
ПЛЕНКООБРАЗОВАНИЯ.
3 I Анализ результатов машинного эксперимента при использовании математической модели пленкообразования с использованием I коодинатных исполнительных устройств
3.2 Анализ результатов машинного эксперимента при использовании математической модели пленкообразования при плоскопараллельном перемещении подложки
3.3 Сравнительный анализ результатов машинного эксперимента при использовании математической модели пленкообразования с использованием I коодинатных исполнительных устройств и при использовании математической модели пленкообразования при
плоскопараллелыюм перемещении подложки
Выводы по главе 3.
4 РАЗРАБОТКА ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ
ВЕЩЕСТВА
4 1 Устройство нанесения тонких пленок
4 2 Устройство перемещения подложкодержателя
4.3 Исполнительный орган манипулятора.
Выводы по главе 4.
5 СОЗДАНИЕ ИНЖЕНЕРНОЙ МЕТОДИКИ РАСЧЕТА ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ И КИНЕМАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ ПРИ МОДЕЛИРОВАНИИ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ВЕЩЕСТВА
5.1 Алгоритм расчета толщины напыленного слоя
5.2 Оценка выхода годных изделий электронной техники с учетом вероятности их поражения микрочастицами износа.
5.3 Аддитивный критерий оценки качества исполнительных устройств
5.4 Газовыделение в условиях проведения процесса
пленкообразования
Выводы по главе 5
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922