ВВЕДЕНИЕ
СОДДЕРЖАНИЕ
ГЛАВА 1 .ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ МИКРОСИСТЕМЫ
1.1 Теплофизические микросистемы. Основные направления развития и принципы работы
1.2 Особенности базовых конструкционных элементов теплофизических микросистем.
1.3 Современные подходы к проектированию устройств микросистемной техники
1.4 Заключение по главе 1 и постановка задач работы
ГЛАВА 2 Микро и наноразмерные факторы при конструировании и функционировании микросистем
2.1 Анализ значений критерия Кнудсена при конструировании микросистем
2.2 Анализ применимости критериев Нуссельта и Био при конструировании микросистем
2.3 Заключение по главе 2
ГЛАВА 3 Разработка сенсорной тсплофизической микросистемы на основе теплового периодического волнового процесса.
3.1 Реализация тепловой микросистемы на основе
стационарного теплообмена
3.2 Разработка метода теплофизических измерений на основе периодической тепловой волны.
3.3 Определение параметров конструкции чувствительного элемента теплофизического датчика на основе теплового периодического волнового процесса
3.4 Разработка базовых составляющих технологического маршрута изготовления чувствительного элемента теплофизического датчика
3.5 Заключение по главе 3
ГЛАВА 4 Техническая реализация и исследование универсального чувствительного элемента анемометрического датчика на основе теплового периодического волнового процесса
4.1. Технология изготовления кристалла интегрального универсального чувствительного элемента анемометрического датчика
4.2 Экспериментальное исследование чувствительного элемента универсального анемометрического датчика 0щ
4.3 Термоанемометрический датчик для контроля низкого вакуума
4.4 Заключение по главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922