ОГЛАВЛЕНИЕ
Глава 1. Электрический разряд по поверхности твердых диэлектриков Литературный обзор.
1.1 Классификация электрических полей.
1.2 Разряд по поверхности диэлектрика
1.3 Влияние различных факторов на разряд по поверхности диэлектриков
1.3.1 Вид и давление газа, жидкие среды
1.3.2 Влияние температуры
1.3.3 Материал и конфигурация электродов.
1.3.4 Контакт диэлектрикэлектрод
1.3.5 Профиль и геометрические размеры диэлектрика.
1.4 Повышение рабочей напряженности изоляционных конструкций
Глава 2. Методика и экспериментальная техника для исследования электрофизических свойств диэлектриков
2.1 Оборудование для ионной имплантации материалов и выбор режима модификации
2.2 Методы и экспериментальная техника для измерения диэлектрических свойств материалов
2.2.1 Стенд для измерения диэлектрических свойств материалов при высоких температурах Пирон1.
2.2.2 Стенд для высоковольтных испытаний диэлектриков при высоких температурах Пирон2.
2.3 Методика измерений.
2.3.1 Измерение объемных диэлектрических свойств.
2.3.2 Измерение поверхностной проводимости диэлектриков
2.4 Погрешность измерений
Глава 3. Электрофизические свойства модифицированных
диэлектриков
3.1 Влияние вида легирующих ионов.
3.2 Флюенс легируемых ионов.
3.3 Посгимплантационная термообработка
3.4 Температура подложки.
3.5 Режим ионного перемешивания.
Глава 4. Математическое моделирование.
4.1 Аналитический расчет полупроводящего слоя..
4.2 Моделирование в среде Сотяо МиШрЬузга
Глава 5. Экспериментальные исследования
5.1 Методика проведения эксперимента.
5.2 Характеристики поверхностного пробоя образцов с полупроводящим слоем, полностью перекрывающим разрядный промежуток.
5.3 Зависимость напряжения перекрытия от концентрации
проводящей примеси в модифицированном слое.
5.4 Характеристики поверхностного пробоя при частичном закрытии
изоляционного промежутка полупроводящим слоем
Заключение.
Список литературы
- Київ+380960830922