Моделирование и исследование технологии получения мультикристаллического кремния в индукционной печи с холодным тиглем

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. СПОСОБЫ ПРОИЗВОДСТВА МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
1.1. Кремний и его виды
1.2. Производство металлургического кремния
1.3. Современные технологии очистки металлургического
кремния и получение поли, мульти и монокристаллического кремния для фотоэлектрических преобразователей
1.3.1. Химические способы очистки кремния с получением поликристаллической структуры
1.3.2. Получение слитков кремния с моно или
мульти кристаллической структурой
1.4. Критерии выбора эффективной технологии выращивания
мульти кристаллического кремния
1.5. Получение мультикристаллического кремния методом
направленной кристаллизации
1.6. Выводы по главе
2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ И ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ИНДУКЦИIIЮЙ ПЛАВКЕ КРЕМНИЯ В ХОЛОДНОМ ТИГЛЕ 3
2.1. Электрои тсплофизические свойства кремния
2.2. Трхмерная математическая модель электромагнитного поля
индукционной системы для плавки кремния
2.3. Трхмерная тепловая математическая модель
2.4. Выбор частоты тока
2.5. Исследование режимов плавки кремния в индукционной
печи с использованием математических моделей
2.6. Сравнение экспериментально полученных данных с
результатами численного моделирования
2.7. Выводы по главе
3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНДУКЦИОННОЙ ПЕЧИ ДЛЯ ПЛАВКИ КРЕМНИЯ НА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОМ СТЕНДЕ
3.1. Описание экспериментального стенда
3.2. Критерии разработки конструкции индукционной печи с холодным тиглем для плавки кремния
3.3. Исследование стартового нагрева и тепловых характеристик плавки кремния в холодном тигле
3.3.1. Организация стартового нагрева
3.3.2. Исследование ИПХТ кремния
3.4. Исследование характеристик непрерывнопоследовательной кристаллизации расплава кремния в холодном тигле
3.5. Выводы по главе
4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРЫ СЛИТКА И ОЦЕНКА ЭФФЕКТИВНОСТИ ТЕХНОЛОГИИ
4.1. Исследование фронта кристаллизации расплава кремния в
тигле и анализ структуры полученного слитка
4.2. Исследование температурного поля в слитке мультикристаллического кремния
4.3. Оптимизация конструкции индукционной печи
с холодным тиглем
4.4. Обобщение результатов исследований и оценка эффективности разработанной технологии
4.5. Выводы по главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ