Создание и исследование бесконтактных вакуумных насосов

ОГЛАВЛЕНИЕ
Основные условные обозначения и термины
Введение
Глава 1. Конструктивные разновидности бесконтактных
вакуумных насосов. Методы расчета откачных характеристик и перетеканий газа через щелевые каналы
1.1. Конструктивные разновидности бесконтактных вакуумных насосов. Выбор объектов исследования
1.2. Методы расчета откачных характеристик бесконтактных вакуумных насосов
1.2.1. Вакуумные методы расчета ДВН
1.2.2. Методы расчета откачных характеристик при вязкостном
режиме течения газа, основанные на дифференциальных уравнениях рабочего процесса
1.3. Методы расчета проводимости щелевых каналов бесконтактных машин с неподвижными стенками при молекулярном, переходном и вязкостном режимах течения газа
1.4. Теоретическое и действительное профилирование роторов бесконтактных вакуумных насосов
1.5. Тепловые режимы работы бесконтактных насосов
1.6. Задачи исследования
Глава 2. Концепция объемнокинетической откачки
2.1. Общие положения
2.2. Модель объемнокинетической откачки ДВН
2.3. Объемная откачка в бесконтактных насосах. Коэффициент использования рабочего объема
2.4. Внешние характеристики ДВН
стр
2.5. Особенности реализации модели объемнокинетической откачки в кулачковозубчатом вакуумном насосе
Выводы по главе 2
Глава 3. Комплекс экспериментальных стендов для исследования откачных характеристик бесконтактных вакуумных насосов, агрегатов и проводимостей щелевых каналов с неподвижными и движущимися стенками. Объекты исследования
3.1. Стенд для экспериментального исследования откачных характеристик ДВН и агрегатов с ФВН. Методика эксперимента.
Объекты исследования
3.2. Стенд для экспериментального исследования коэффициента 1 заполнения отсеченного объема ДВН. Методика эксперимента
3.3. Стенд для экспериментального исследования откачных 4 характеристик КЗВН и агрегатов с ФВН. Методика эксперимента.
Объект испытаний кулачковозубчатый вакуумный насос
3.4. Экспериментальное исследование проводимости каналов с 0 неподвижными стенками на моделях
3.4.1 .Экспериментальный стенд для исследования проводимости
щелевых каналов
3.4.2. Методика и результаты измерения проводимости
3.5. Экспериментальное исследование двухроторного молекулярного 9 насоса
Выводы по главе 3
Глава 4. Математическое моделирование течения газа в каналах 8 бесконтактных вакуумных насосов при молекулярном режиме
4.1. Постановка задач моделирования. Объекты исследования
4.2. Математическая модель исследуемого объекта
4.2.1. Основные положения и допущения
4.2.2. Выбор числа сечений канала
4.2.3. Выбор положений входа и выхода канала
4.3. Математическое моделирование течения газа
4.3.1. Математическое моделирование течения газа в каналах с
неподвижными стенками
4.3.2. Математическое моделирование течения газа в каналах с
движущимися стенками
4.3.2.1. Основные положения и допущения. Алгоритм вычислений
4.3.2.2. Влияние способа задания распределения молекул по 9 скоростям на коэффициенты прямой и обратной проводимости
4.3.2.3. Расчетное исследование двухроторного молекулярного насоса
4.4. Результаты моделирования течения газа в каналах с
неподвижными стенками
4.4.1. Проводимость патрубков и плоской прямоугольной щели
4.4.2. Проводимость каналов, образованных цилиндрическими 7 поверхностями
4.4.3. Проводимость радиальных каналов ДВН с эллипсом на головке 1 ротора
4.4.4. Проводимость радиальных каналов ДВН с подрезкой головки 7 ротора
4.4.5. Проводимость межроторного канала с профилем ротора ДВН 9 ОАО Вакууммаш
4.4.6. Проводимость межроторного канала ДВН с окружным 3 профилем ротора
4.4.7. Проводимость межроторного канала ДВН с эллиптическим 8 профилем ротора
4.4.8. Оптимизация геометрических параметров эллиптического 1 профиля
4.5. Результаты моделирования течения газа в каналах с
движущимися стенками
4.5.1. Проводимости радиальных каналов ДВН с окружным профилем 4 ротора
4.5.2. Проводимости радиальных каналов ДВН с подрезкой ротора
4.5.3. Проводимости радиальных каналов ДВН с эллиптическим 1 профилем ротора
4.5.4. Проводимости межроторного канала ДВН
4.5.5. Проводимость торцевых каналов ДВН с движущимися стенками
Выводы по главе 4
Глава 5. Математическое моделирование и результаты
численного исследования проводимости щелевых каналов в вязкостном и молекулярновязкостном режимах течения газа
5.1. Математическое моделирование течения газа в щелевых каналах с 9 неподвижными стенками в вязкостном режиме. Общие положения и допущения. Оценка адекватности модели
5.1.1. Проводимость щелевых каналов в ламинарном режиме течения 0 при отношениях давлений на концах близких к единице
5.1.2. Моделирование течения газа в щелевых каналах в ламинарном 9 режиме при произвольных перепадах давлений
5.1.3. Результаты численного решения и уравнения для расчета 8 проводимости щелевых каналов с неподвижными стенками в вязкостном режиме
5.2. Математическое моделирование течения газа в щелевых каналах с 9 неподвижными стенками в молекулярновязкостном режиме
5.3. Математическое моделирование течения газа в вязкостном и 1 молекулярновязкостном режимах с учетом движения стенок щелевых каналов
5.4. Универсальный метод расчета проводимости профильных каналов 6 бесконтактных вакуумных насосов
Выводы по главе 5
Глава 6. Результаты экспериментального исследования
бесконтактных вакуумных насосов и агрегатов
6.1 .Результаты экспериментального исследования ДВН и агрегатов с 3 ФВН
6.1.1. Суммарная проводимость каналов роторного механизма ДВН 3 при неподвижных роторах
6.1.2. Быстрота действия ДВН в агрегате с ФВН. Внешние 7 реализуемые характеристики
6.1.3. Степень повышения давления ДВН в безрасходном режиме 1 работы
6.1.4. Остаточное давление ДВН
6.1.5. Коэффициент заполнения отсеченного объема ДВН
6.1.6. Тепловые испытания ДВН
6.2. Результаты экспериментального исследования КЗВН и агрегатов 9 с ФВН
Выводы по главе 6
Глава 7. Методики и результаты расчета откачных характеристик 9 бесконтактных вакуумных насосов и агрегатов
7.1. Методика и результаты расчета характеристик ДВН
7.1.1. Расчет быстроты действия ДВН внешняя реализуемая 5 характеристика
7.1.2. Расчет степени повышения давлений
7.1.3. Анализ влияния геометрии роторов и величин зазоров на 9 откачные характеристики ДВН при молекулярном режиме течения
газа в зазорах
7.2. Математическая модель для расчета откачных характеристик
кулачковозубчатого вакуумного насоса
Выводы по главе 7
Выводы по диссертации
Список литературы