ОГЛАВЛЕНИЕ
ГЛАВА 1. ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ И МАГНИТООПТИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ КЕРРА ТЕОРИЯ, МЕТОДЫ, ПРИЛОЖЕНИЯ. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1. Основное уравнение эллипсометрии. Прямая и обратная
задачи.
1.2 Поверхностный магнитооптический эффект Керра.
1.3.Структурные схемы эллипсомегров и магнитометров
Постановка задачи
ГЛАВА 2. ЭЛЛИПСОМЕТРРТЧЕСКАЯ МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОС ТРУКТУР i.
2.1. Описание экспериментальной установки
2.2. Контроль качества подготовки подложек с помощью x i
спектральной эллипсометрии
2.3. Исследование начальных стадий роста пленок и i на
подложках монокристаллического кремния .
2.4. Определения показателя поглощения пленок кремния
2.5. Решение обратной задачи эллипсометрии для систем ii
Вывода к главе 2
ГЛАВА 3. УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО МАГНИТООПТИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА КЕРРА.
3.1. Структурная схема и описание работы
3.2. Блок перемагничивания образца
3.3. Интерпретация экспериментальных данных.
3.4. Исследование двухслойных систем Оу.ХМхЛ.
Выводы к главе 3.
ГЛАВА 4. ПРОГРАМНО АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ РОСТА И ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР В СВЕРХВЫСОКОМ ВАКУУМЕ
4Л. Интерпретация эволюции эллипсометрических параметров в реальном времени в процессе роста структур ре Зп
4.2 Автоматизированная система управления испарителями в
установке молекулярнолучевой эпитаксии
4.2.1. Аппаратная часть системы управления испарителями.
4.2.2. Программная часть системы управления испарителями
4.3. Программный эллипсометрический комплекс
Выводы к главе 4.
РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ И ВЫВОДЫ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922