Формирование силицидов железа и кобальта на поверхности чистого и окисленного монокристаллического кремния

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава I ТВЕРДОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ СИЛИЦИДОВ ЖЕЛЕЗА И
КОБАЛЬТА НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1 Строение и свойства силицидов железа и кобальта.
1.2 Начальные стадии формирования силицидов железа на
поверхности кремния.
1.3 Начальные стадии формирования силицидов кобальта на
кремнии.
страница
1.5 Глава II
Формирование силицидов железа и кобальта на окисленном кремнии
Выводы из обзора и постановка задачи исследования. ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.
Фотоэлектронная спектроскопия остовных уровней высокого энергетического разрешения.
2.2 Экспериментальные установки и методика измерений.
2.3 Методика обработки спектров.
Глава III НАЧАЛЬНЫЕ СТАДИИ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ ЖЕЛЕЗА И КОБАЛЬТА НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ.
3.1. Твердофазный синтез силицидов железа на поверхности
02x1.
3.1.1. Взаимодействие атомов Бс с поверхностью 02x1 при
комнатной температуре.
3.1.2. Твердофазный синтез стабильных силицидов железа.
3.1.3. Твердофазный синтез метастабильных силицидов железа.
3.2 Формирование силицидов железа на поверхности i 7х7
3.3 Формирование силицидов кобальта на поверхности
i 02x1
Глава IV ФОРМИРОВАНИИ СИЛИЦИДОВ ЖЕЛЕЗА И КОБАЛЬТА
НА ПОВЕРХНОСТИ ОКИСЛЕННОГО КРЕМНИЯ
4.1 Оксиление поверхности i 02x1
4.2 Формирование дисилицида кобальта на поверхности
кремния, окисленного i i
4.3 Формирование силицидов железа на поверхности
окисленного кремния
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность