ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ТЕХНИКА И МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ОСНОВНЫХ ПОЛЯРИЗАЦИОННООПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ В ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ОТРАЖАЮЩИХ СИСТЕМ
1.1 Методы компенсационной нулевой эллипсометрии.
1.2 Методы переключения состояния поляризации светового пучка
1.3 Методы азимутальной и фазовой модуляции поляризованного светового
1.4 Методы многоугловой и иммерсионной эллипсометрии.
Выводы.
ГЛАВА И. ТЕОРИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ НЕОДНОРОДНЫХ.
СЛОЕВ И ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОТЕХНИКИ
2.1 Основные закономерности изменения поляризационно оптических
свойств неоднородных поверхностных слоев элементов оптотехники.
2.2 Основные закономерности изменения поляризационнооптических
свойств шероховатой поверхности
2.3 Метрологическое обеспечение эллипсометрического метода.
2.4 Границы применимости точных и приближенных методов решения
задачи отражения поляризованного света.
Выводы.
ГЛАВА III. МЕТОДЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ФИЗИКОТЕХНИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕМЕНТОВ ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНИКИ .
3.1 Влияние неоднородности физикохимической структуры плавленого
и кристаллического кварца на потери излучения в оптических элементах лазерной техники.
3.2 Определение оптических характеристик элементов лазерной техники
методом внутрирезонаторных потерь излучения
3.3 Метрологическое обеспечение спектрофотометрического метода
3.4 Методы эллипсометрического анализа неоднородных поверхностных
слоев элементов лазерной техники.
Выводы.
ГЛАВА IV. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И КОНТРОЛЯ ФИЗИКОТЕХНИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОТЕХНИКИ
4.1 . Определение потерь излучения в оптических элементах методами
эллипсометрии и спектрофотометри и1
4.2 Изменение оптических параметров поверхностного слоя элементов при
ионноплазменной и ионнохимической обработки плавленого и кристаллического кварца
4.3 Спектрофотометрические и эллипсометрические параметры структуры поверхностных слоев монокристаллов фторидов щелочноземельных металлов
и фторсодержащих стекол
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА
- Киев+380960830922