Оглавление
Оглавление.
Основные обозначения.
Введение.
1. Обзор литературы по изучаемой проблеме.
1.1. Выращивание полупроводниковых кристаллов из расплава
ио методу Чохральского введение в проблему
1.2. Пространственный характер конвекции расплава при
выращивании кристаллов но методу Чохральского
1.2.1. Экспериментальные данные
1.2.2. Результаты численного моделирования.
1.3. Основные механизмы неустойчивости при конвекции расплава
1.3.1. Неустойчивость подогреваемого снизу вращающегося слоя
1.3.2. Проявление бароклинной неустойчивости.
1.4. Выводы.
2. Математическая модель и численный метод
2.1. Определяющие уравнения.
2.2. Численный метод и его реализация.
2.2.1. Общая характеристика численного метода
2.2.2. Преобразование координат
2.2.3. Геометрия ячеек.
2.2.4. Дискретизация определяющих уравнений
2.2.4.1. Дискретизация по времени и расчт поправок.
2.2.4.2. Пространственная дискретизация и расчт невязок
2.2.5 Использование блочноструктурированных сеток.
3. Методические расчеты.
3.1. Конвекция в квадратной полости.
3.1.1. Предварительные замечания.
3.1.2. Постановка задачи.
3.1.3. Стационарная конвекция при Рг 0,
3.1.4. Нестационарная конвекция при Рг 0,
3.1.5. Стационарная конвекция при Рг 0,3.
3.1.6. Нестационарная конвекция при Рг 0,3
3.2. Конвекция в кубической полости.
3.2.1. Предварительные замечания.
3.2.2. Постановка задачи.
3.2.2. Результаты расчтов конвекции при Рг 0,.
3.3. Конвекция в модельной установке метода Чохральского
3.3.1. Предварительные замечания и постановка задачи.
3.3.2. Нестационарная конвекция при малой надкритичности.
4. Конвекция в емкостях упрощенной геометрии.
4.1. Проявление бароклинной неустойчивости
во вращающихся кольцевых полостях.
4.1.1. Сопоставление с экспериментами.
4.1.1.1. Постановка задачи.
4.1.1.2. Регулярные волны в воде.
4.1.1.3. Негеострофичсская турбулентность при течении ртути
4.1.2. Конвекция расплава кремния.
4.1.2.1. Постановка задачи.
4.1.2.2. Негеострофичсская турбулентность в расплаве кремния
4.2. Проявление бароклинной неустойчивости
во вращающейся цилиндрической мкости.
4.2.1. Предварительные замечания и постановка задачи
4.2.2. Развитие регулярной волновой структуры.
4.3. Неустойчивость центрального вихря во вращающихся цилиндрических емкостях модельная задача в отсутствие
сил плавучести
4.3.1. Предварительные замечания и постановка задачи
4.3.2. Развитие неустойчивости центрального вихря квазипериодический и стохастический режимы
5. Конвекция в емкостях с геометрией, типичной для тиглей
метода Чохральского
5.1. Бифуркация осесимметричного стационарного течения
в трхмерное
5.1.1. Предварительные замечания и постановка задачи
5.1.2. Возникновение стационарных трхмерных структур.
5.2. Трхмерная конвекция в переходном режиме.
5.2.1. Постановка и вычислительные аспекты задачи.
5.2.2. Изменение характера течения с ростом числа Релея.
5.2.3. Влияние вращения мкости и центрального тела
на конвекцию расплава.
5.2.4. Осредннныс поля и их сравнение
с осесимметричным решением
5.2.5. Теплоотдача на интерфейсе кристаллрасплав.
Заключение
Литература
- Киев+380960830922