Содержание
Введение..
Глава 1. Литературный обзор.
1.1. Анализ возможных технологических схем
производства солнечного кремния.
1.2. Кремнийсодержащие сырье для производства
солнечного кремния
1.2.1. Требования к кремнезему, как к сырью для производства солнечного кремния
1.2.2. Структура, свойства и нахождение в природе кремнезема
Т.2.3. Структура и свойства других оксидов кремния
1.3. Углеродсодержащие восстановители и их свойства
1.3.1. Требования к восстановителю для получения солнечного кремния карботермическим восстановлением кремнезема.
1.3.2. Сажа.
1.3.3. Графит.
1.3.4. Карбид кремния.
1.4. Описание процессов, протекающих при карботермическом восстановлении кремнезема.
1.5. Особенности процессов очистки кремния, полученного карботермическим восстановлением кремнезема, до уровня
солнечного кремния
Выводы к главе 1
Глава 2. Использованные материалы, методики исследования
и установки для проведения экспериментов
2.1. Использованные материалы и методики исследования.
2.2. Установка для плазменного восстановления
кремнезема метаном.
2.3. Печь с плазменным нагревом.
2.4. Резистивные печи.
Глава 3. Исследование плазменного восстановления кремнезема
газообразным восстановителем
3.1. Термодинамический анализ процесса плазменного
восстановления кремнезема метаном.
3.2. Экспериментальное исследование процесса восстановления
кремнезема метаном в плазме высокочастотного разряда
Выводы к главе 3.
Глава 4. Термодинамика процессов, протекающих при
карботермическом восстановлении кремнезема при атмосферном и пониженном давлениях.
4.1. Влияние понижения давления на термодинамическую стабильность исходных веществ, промежуточных продуктов
и продуктов реакции карботсрмического восстановления.
4.2. Влияние давления на равновесные концентрации веществ
в системах, содержащих , С, О
4.3. Расчет технических параметров процесса
восстановления кремнезема карбидом кремния.
Выводы к главе 4.
Глава 5. Исследование процесса получения карбида кремния для
карботсрмического восстановления кремнезема
5.1. Получение и исследование карбида кремния с использованием
кокса фенол формальдегидной смолы в качестве восстановителя.
5.2. Получение и исследование карбида кремния с использованием
пироуглерода в качестве восстановителя.
5.3. Получение и исследование карбида кремния с использованием
сажи в качестве восстановителя.
Выводы к главе 5.
Глава 6. Исследование процесса карботермического
восстановления кремнезем.
6.1. Восстановление кремнезема в плазменной печи
6.2. Восстановление кремнезема в резистивной печи.
Выводы к главе 6.
Глава 7. Разработка процесса плазменного рафинирования
расплава кремния.
7.1. Анализ термодинамической возможности удаления
примесей в процессе плазменного рафинирования
7.2. Разработка устройства плазменного рафинирования . и экспериментальное исследование его
эффективности
Выводы к главе 7.
Основные выводы
Использованные источники.
Введение.
Актуальность