Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей

Оглавление
Введение
ГЛАВА 1 Основные характеристики электроакустических преобразователей на примере микрофона
1.1 Основные характеристики акустического поля
1.2 Основные характеристики микрофонов
1.3 Электроакустическая система микрофона
ГЛАВА 2 Совместимость технологии микросистемной техники с технологией микроэлектроники
ГЛАВА 3 Анализ электромеханического чувствительного элемента МЭМСмикрофона
ГЛАВА 4 Влияние полости под диафрагмой на характеристики микрофона ГЛАВА 5 Моделирование и проектирование диафрагм МЭМС микрофонов
5.1. Моделирование упругих стальных диафрагм микрофонов
5.2. Методы моделирования и проектирования МЭМС
ГЛАВА 6 Разработка технологии производства диафрагменных элементов МЭМСэлектроакустических преобразователей
6.1 МОЭМС для ЭАП
6.2 Разработка конструкции и технологии изготовления кристалла
кремниевого чувствительного элемента для ЭАП
6.2.1 Исследование влияния технологического процесса осаждения
нитрида кремния на характеристики диэлектрической мембраны
6.2.2 Исследование влияния структуры диэлектрической мембраны на
ее параметры
6.3 Разработка и исследование конструктивнотехнологических
особенностей создания чувствительного элемента ЭАП с
профилированной мембраной
6.4 Анализ результатов технологических исследований
Основные результаты работы
Литература