Рассеивающая (локализующая) способность электролитов в контролируемых гидродинамических условиях

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧ
ИССЛЕДОВАНИЯ.
1.1. Рассеивающая способность электролитов при
катодном осаждении металлов.
1.1.1. Методы определения рассеивающей
способности электролитов.
1.1.2. Интенсификация процессов электроосаждения
и рассеивающая способность.
1.2. Распределение тока на поверхности электродов в
контролируемых гидродинамических условиях
1.2.1. Первичное распределение тока
на вращающемся дисковом электроде
1.2.2. Первичное распределение тока
на вращающемся цилиндрическом электроде
с диэлектрическим кожухом.
1.2.3. Распределение тока на вращающемся
дисковом и цилиндрическом электродах при
диффузионном контроле скорости реакции
1.3. Рассеивающая локализующая способность
электролитов в условиях электрохимической
размерной обработки
1.4. Локализация процессов микрообработки при
нанесении изолирующих слоев на анодно
растворяющейся поверхности.
1.5. Заключение и постановка задачи исследования.
2. ОБЩАЯ МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1. Метод определения рассеивающей способности
2.2. Расчет значений РС в зависимости от
параметров электроосаждения.
2.3. Методы определения локализующей способности
электролита в условиях электрохимической микрообработки
при нанесении масок на анодной поверхности
2.4. Оборудование, электролиты и режимы
электроосаждения, используемые для определения рассеивающей способности электролитов с применением модификации ячейки Хулла
с вращающимся цилиндрическим электродом.
2.5. Оборудование, электролиты и режимы
электрохимической микрообработки при нанесении масок на анодной поверхности, используемые
в контролируемых гидродинамических условиях.
2.6. Исследование поверхности после обработки.
3. ОПРЕДЕЛЕНИЕ РАССЕИВАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ
С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОДИФИКАЦИИ ЯЧЕЙКИ ХУЛЛА
3.1. Влияние условий электроосаждения меди
на рассеивающую способность при использовании модификации ячейки Хулла с вращающимся
цилиндрическим электродом.
3.1.1. Распределение толщин осадка и выход
по току в зависимости от 1ср 1пр
3.1.2. Распределение поляризуемости и его влияние
на рассеивающую способность при
различных значениях 1ср 11р
3.1.3. Влияние гидродинамических условий
на рассеивающую способность электролита меднения
3.1.4. Влияние разбавления электролита
на рассеивающую способность.
3.2. Определение рассеивающей способности
электролита хромирования
3.2.1. Распределение локальных скоростей осаждения
и рассеивающей способности электролита
хромирования при использовании постоянного тока.
3.2.2. Распределение локальных скоростей осаждения
и рассеивающей способности электролита
хромирования при использовании импульсного тока.
3.3. Влияние условий импульсной аноднокатодной
обработки малоуглеродистой стали на рассеивающую способность при использовании модификации ячейки Хулла с вращающимся цилиндрическим электродом в контролируемых гидродинамических условиях.
3.4. Выводы.
4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЛОКАЛИЗУЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ
ЭЛЕКТРОЛИТОВ ПРИ АНОДНОМ РАСТВОРЕНИИ И НАЛИЧИИ ИЗОЛИРУЮЩИХ МАСОК НА АНОДНОЙ ПОВЕРХНОСТИ В КОНТРОЛИРУЕМЫХ ГИДРОДИНАМИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ.
4.1. Использование метода определения
локализующей способности электролитов при анодном растворении и наличии изолирующих масок на анодной поверхности
в контролируемых гидродинамических условиях.
4.2. Влияние условий ионного массопсреноса
на локализацию травления при анодном растворении
стали ХН1 ОТ в хлоридных растворах
4.2.1. Локализация и скорость растворения
при электрохимической микрообработке
стали ХПТ в хдоридных растворах.
4.2.2. Качество обработанной поверхности в зависимости от условий ионного массопереноса при электрохимической микрообработке
стали ХН1 ОТ в хлоридных растворах.
4.3. Выводы. П
5. РАЗРАБОТКА ОСНОВ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ
СЛОЖНОПРОФИЛЬНЫХ ПОЛОСТЕЙ МАЛОЙ ГЛУБИНЫ.
5.1. Метод экспериментального моделирования
получения системы локальных поверхностей.
5.1.1. Экспериментальное моделирование
системы локальных поверхностей.
5.1.2. Выбор электролита.
5.1.3. Режимы обработки
5.1.4. Выбор, точность изготовления
и нанесения маски
5.2. Методика расчета параметров обработки.
5.3. Результаты экспериментальною моделирования.
Получение требуемой глубины травления
5.4. Выводы
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА