Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение.
Глава 1. Структура, свойства и методы получения тонких пленок тантала и его соединений .
1.1 Физикохимические свойства тантала.
1.2 Структура тонких пленок тантала.
1.3 Структура тонких пленок оксидов тантала.
1.4 Методы получения тонких пленок тугоплавких соединений.
1.5 Модификация тонкопленочных материалов.
1.6 Основные заключения по состоянию проблемы. Постановка задачи
исследования.
Глава 2. Оборудование и методология исследований
2.1 Оборудование
2.1.1 Выбор режимов работы ионного источника
2.1.2 Установка магнетронного ВЧраспыления 0
2.1.3 Оборудование для модификации тонких пленок
2.1.4 Установка лазерной обработки пленок.
2.2 Методы исследования
2.2.1 Метод электронной ожеспектроскопии.
2.2.2 Массспсктрометрия вторичных ионов ВИМС.
2.2.3 Методика измерения температурного коэффициента сопротивления
2.2.4 Измерения уровня низкочастотных шумов.
2.2.5 Фотоэлектрическая спектроскопия тонких пленок.
2.2.6 Тонкопленочная рентгеновская дифрактометрия.
Глава 3. Состав и структура тонких пленок тантала и его соединений, полученных ионноплазменным распылением.
3.1 Исследование структуры и фазового состава тонких пленок тантала.
3.1.1 Влияние газовой среды на процесс ионного распыления и загрязнение
пленок в процессе ионноплазменного распыления
3.1.2 Состав остаточной атмосферы вакуумной камеры.
3.1.3 Адсорбция и газовыделение с поверхности подложек.
3.2 Химические и структурные образования в тонких пленках, полученных ионноплазменным распылением тантала из компактных мишеней.
3.3 Ионноплазменное распыление тантала в среде активных газов
Глава 4. Свойства полифункциональных тонких пленок
соединений тантала
4.1 Электрические свойства тонких пленок тантала и его соединений.
4.2 Анализ температурной зависимости сопротивления пленок соединений тантала, полученных методом магнетронного и триодного ионноплазменного распыления
4.3 Электрическое сопротивление тонких пленок системы ТаТа5
4.4 Электрические свойства тонких пленок нитрида тантала
4.5 Электрические свойства тонких пленок Та5
4.6 Оптические и фотоэлектрические свойства тонких пленок соединений
тантала
Глава 5. Модификация структуры и свойств тонких пленок
5.1 Влияние плазменной и термической обработки на сопротивление резисторов
5.2 Измерение температуры образцов во время плазменной обработки
5.3 Испытания на ускоренное старение резисторов.
5.4 Ионная обработка поверхности подложек перед напылением пленок
5.5 Исследование воздействия лазерного излучения на свойства
тонких пленок ТаТа5
5.6 Фотонная импульсная обработка тонких пленок.
5.7 Технологический процесс нанесения тонкопленочных покрытий.
5.8 Практическое применение полифункциональных тонких пленок
неметаллических соединений тантала
Основные выводы по работе.
Библиографический список использованной литературы
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность