Рекомбинация атомов и тепломассоперенос в системе газ - твердое тело

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К ОПИСАНИЮ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В СИСТЕМЕ ГАЗ ТВЕРДОЕ ТЕЛО.
1.1. Процессы, происходящие на межфазной границе газ твердое
1.2. Параметры для описания рекомбинации атомов в молекулу и вклада
этой реакции в обмен энергией в системе газ твердое тело и факторы, влияющие на них.
1.3. Экспериментальные и теоретические исследования процессов
рекомбинации атомов и аккомодации химической энергии.
1.3.1. Влияние температуры поверхности.
1.3.2. Влияние давления газа
1.3.3. Влияние природы материала
1.3.4. Влияние механизма реакции
ГЛАВА 2 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ КИСЛОРОДА НА ПОВЕРХНОСТИ КАРБИДА КРЕМНИЯ.
2.1. Метод исследования и экспериментальная установка
2.1.1. Экспериментальная установка
2.1.2. Методика определения коэффициента аккомодации химической энергии р с помощью пирометра и калориметра
2.1.3. Методика определения коэффициента рекомбинации у с использованием метода актинометрии
2.1.3.1. Метод измерения профиля относительной концентрации метод актинометрии
2.1.3.2. Методы определения температуры газа из вращательного спектра Ы2
2.2. Проведение эксперимента.
2.3. Результаты и их обсуждение
2.3.1. Результаты актинометрии
2.3.2. Результаты измерения температуры газа
2.3.3. Результаты определения коэффициента рекомбинации атомов кислорода на поверхности карбида кремния
ГЛАВА 3 ЭВОЛЮЦИЯ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ КАРБИДА КРЕМНИЯ ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИИ С ПОТОКОМ ГАЗА.
3.1. Свойства карбида кремния
3.2. Традиционные подходы к описанию микроструктуры
поверхности.
3.3. Описание исследуемых образцов.
3.4. Параметры воздействия газового потока на образцы
3.5. Методы анализа структуры и химического состава исходных
образцов и подвергшихся взаимодействию с потоком газа
3.4.1. Атомносиловая микроскопия.
3.4.2. Сканирующая электронная микроскопия
3.4.3. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
3.5. Обсуждение результатов
3.5.1. Взаимодействие поверхности карбида кремния
с кислородом.
3.5.2. Взаимодействие поверхности карбида кремния с азотом
ГЛАВА 4 ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ГАЗА С ПОВЕРХНОСТЬЮ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНОЙ ДИНАМИКИ.
4.1. Метод молекулярной динамики
4.1.1. Основные принципы метода молекулярной динамики
4.1.2. Г раничные условия
4.1.3. Прогнозируемые свойства.
4.2. Постановка задачи
4.2.1. Структура ркристобалита
4.2.2. Потенциал взаимодействия для системы Я О.
4.3. Анализ траекторий.
4.4. Вычисление коэффициента рекомбинации
ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА