ЗМІСТ
стор.
ПЕРЕЛІК УМОВНИХ ПОСИЛАНЬ І СКОРОЧЕНЬ
ВСТУП.
РОЗДІЛ 1. ОГЛЯД
ЛІТЕРАТУРИ.
1.1. Методи отримання поруватого
кремнію.
1.2. Механізм формування
ПК
1.3. Особливості морфології та структура поруватих
шарів
1.4. Електрофізичні властивості
ПК.
1.4.1. Класифікація електричних
властивостей
1.4.2. Контактні явища в структурах з поруватим
кремнієм.
1.5. Тензорезистивний ефект в шарах поруватого кремнію з
різною
морфологією.
1.6. Механізми адсорбції в
ПК
1.7. Люмінесценція в шарах
ПК.
1.8. Вплив адсорбції на люмінесцентний ефект у поруватому Si.
1.9. Модифікація поверхні
ПК.
1 Характерізація оптичних та термічних властивостей
ПК використовуючи фото акустичний
ефект
Висновки до
розділу
1
РОЗДІЛ 2. ЗРАЗКИ ТА МЕТОДИ ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ДОСЛІДЖЕННЯ ЕЛЕКТРОФІЗИЧНИХ
ЕФЕКТІВ НА ПОРУВАТИХ
СТРУКТУРАХ
2.1.Технологія виготовлення структур з проміжним шаром поруватого
кремнію
2.2. Методи дослідження адсорбції в МДН-структурах з проміжним шаром
ПК.
2.3. Вимірювання ВАХ та дослідження кінетики відгуку сенсорних
структур.
2.4.Дослідження впливу тиску на
ВАХ.
2.5.Метод емісійної релаксаційної спектроскопії глибоких
рівнів
2.6. Вимірювання спектру та кінетики
люмінесценції
Висновки до
розділу
2.
РОЗДІЛ 3. ВПЛИВ АДСОРБЦІЇ ГАЗІВ НА ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ГЕТЕРОСТРУКТУР З
ПК.
3. Фізичні основи роботи сенсорів провідності на основі МДН-структур з
проміжним шаром поруватого кремнію
.
3.1.1. Вплив адсорбції на струмопроходження в структурі метал- ПК- Si.
3.1.2. Зміна діелектричної сталої ПК при
адсорбції.
3.1.3. Зміна заряду в ПК при
адсорбції
3. Кінетичні особливості ко-адсорбції парів спирту та води на струми
МДН-структури з проміжним шаром поруватого
кремнію.
3.2.2. Дослідження адсорбції в МДН-структурах з ПК методом ВАХ та кінетики
відгуку
3.3. Газові сенсори на основі поверхнево - бар’єрної структури з проміжним
шаром поруватого кремнію та органічного
напівпровідника.
3.3.1. Розрахунок параметрів проміжного поруватого шару по ємнісним
характеристикам.
.
3.3.2. Ємнісні характеристики МДН-структури з проміжним шаром ПК
Висновки до
розділу
3.
РОЗДІЛ 4. ТЕНЗОРЕЗИСТИВНИЙ ЕФЕКТ В ПОРУВАТОМУ КРЕМНІЇ
4. Вплив одновісного стискання на електропровідність поруватого кремнію та
контакту Шоткі метал- тонкий шар ПК
4.1.1. Дослідження ВАХ при дії одновісного
тиску
4.1.2. Розрахунок пєзорезистивого ефекту в
ПК…………
4.2. Вплив внутрішнього тиску в порах на електрофізичні властивості ПК
Висновки до
розділу
4
РОЗДІЛ 5. ВПЛИВ АДСОРБЦІЇ РІЗНИХ ГАЗІВ НА ЛЮМІНЕСЦЕНТНІ ВЛАСТИВОСТІ СТРУКТУР З
ПК
5.1. Вплив дипольного моменту насичених органічних парів на час гасіння
ФЛ
5.2. Вплив рН розчину на час гасіння
ФЛ
5.3.Модифікація поверхні ПК за допомогою нанесення
полімеру
PEDOT
Висновки до
розділу
5.
РОЗДІЛ ТЕРМО-АКУСТИЧНИЙ ЕФЕКТ В ПК…………………………
6.1. Термостимульоване акустичне випромінювання на структурах з шаром
ПК………………………………………………………………………………
6.2. Дослідження залежності термостимульованого акустичного випромінювання від
прикладеної електричної потужності……………….
6.3. Вплив адсорбції спирту на термо-акустичне випромінювання……….
Висновки до
розділу ………………………………………………………….
ВИСНОВКИ.
СПИСОК
- Киев+380960830922