ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. ПОЛУЧЕНИЕ. СТРУКТУРА, СВОЙСТВА ПЛЕНОК 2 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
1.1. Система I
1.2. Электрические свойства пленок I
1.3. Методы получения и структура пленок I
1.3.1. Термическое испарение и конденсация в вакууме
1.3.2. Ионноплазменное распыление
1.3.3. Пул ьвер нзация
1.3.4. Электрохимическое осаждение
1.3.5. Паротранспоргный метод.
1.3.6. Импульсное лазерное распыление.
1.4. Методы активации синтеза пленок I
2. ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ МАТЕРИАЛЫ, СПОСОБЫ СИНТЕЗА ПЛЕНОК I И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ.
2.1. Исходные материалы для синтеза пленок I
2.2. Способы синтеза пленок 2.
2.2.1. Термическое испарение из раздельных источников и одновременная конденсация компонентов в вакууме.
2.2.2. Термическое испарение и конденсация пленок I в квази
замкнутом объеме
2.2.3 Магнстроннос распыление составной мишени I в вакууме.
2.2.4. Термическая обработка
2.2.5. Импульсная фотонная обработка ИФО пленок системы I.
2.3. Методы анализа фазового и элементного состава и субструктуры пленок
3. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА И ОРИЕНТАЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК I, ПОЛУЧЕННЫХ ОДНОВРЕМЕННОЙ КОНДЕНСАЦИЕЙ КОМПОНЕНТОВ
3.1. Фазовый состав и субструктура тонких пленок I, полученных термическим испарением и конденсацией в вакууме
3.1.1. Влияние температуры подложки на структуру и фазовый состав тонких пленок I.
3.1.2. Термообработка тонких пленок I
3.1.3. Ориентированная кристаллизация пленок I2 на фторфлогопите.
3.2. Субсгруктура межфазных границ в двухфазных тонких пленках I2,.
3.3. Фазовый состав и субструктура тонких пленок I, полученных магнетронным распылением составной I мишени в вакууме.
3.3.1. Влияние температуры подложки на структуру и фазовый состав тонких пленок I.
3.3.2. Термообработка тонких пленок I
3.4. Обсуждение результатов.
4. СИНТЕЗ ПЛЕНОК I, ИМПУЛЬСНОЙ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКОЙ ИФО
4.1. ИФО пленок I полученных термическим испарением и конденсацией в вакууме
4.2 ИФО пленок I полученных методом электрохимического осаждения.
4.3. Анапиз структуры и фазового состава тонких пленок I, синтезированных термической и импульсной фотонной обработкой.
4.4. Обсуждение результатов.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность
- Киев+380960830922