ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. АНАЛИЗ РАБОТ ПО МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИМ СИСТЕМАМ
1.1. Состояние работ по микроэлектромеханическим
системам
1.2. Анализ рынка и перспективы развития
1.3. Сравнительная оценка индуктивных и емкостных преобразователей
1.4. Варианты конструкций емкостных преобразователей
1.4.1. Явнополюсный микроэлектромеханический преобразователь с воздушным зазором.
1.4.2. Емкостный гребневый преобразователь с воздушным зазором
1.4.3. Емкостные преобразователи с катящимся ротором
1.4.4. Балочная конструкция емкостного преобразователя
1.4.5. Планарный пленочный преобразователь
1.4.6. Микроструктурный нитевидный электромеханизм
1.4.7 Емкостной электромеханизм с обратимым преобразованием
энергии.
1.5. Выводы по главе 1
2. МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ ЕМКОСТНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
2.1. Применение диэлектрических материалов для изготовления емкостных элементов МЭМС.
2.2. Полупроводниковые и проводниковые материалы для.создания микроэлектромеханических преобразователей.
2.3 Способы повышения энергетической эффективности микроэлектромеханических емкостных преобразователей.
2.4 Выводы но главе 2.
ГЛАВА 3. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ЕМКОСТНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ.
3.1 Основы математического описания емкостных преобразователей.
3.2 Обобщенная модель емкостного преобразователя энергии.
3.3. Математическая модель конденсатора с подвижной обкладкой
3.4. Математическая модель гребневого преобразователя
3.5. Моделирование емкостного преобразователя в режиме датчика
3.6. Математическая модель емкостного преобразователя с катящимся ротором.
3.7. Моделирование пленочного планарного емкостного преобразователя.
3.8. Моделирование емкостного электромеханизма с обратимым преобразованием энергии.
3.9. Выводы по главе 3
ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЕМКОСТНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
4.1. Исследования емкостного электромеханизма.
4.2. Исследование тонкопленочной структуры.
4.3. Исследование пленочного преобразователя в режиме актюатора
4.4. Выводы по главе 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Киев+380960830922