ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение.
1. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл диэлектрик металл в сильных электрических полях.
1.1. Процесс формовки и пробоя
1.2. Закономерности процесса формовки.
1.3. Факторы, влияющие на процесс формовки
1.3.1. Влияние материала и толщины диэлектрика на процесс формовки.
1.3.2. Влияние материала и толщины электродов на процесс формовки.
1.3.3. Влияние полярности приложенного напряжения на процесс формовки
1.3.4. Влияние давления и состава окружающей атмосферы на процесс формовки.
1.3.5. Влияние температуры на процесс формовки
1.3.6. Микроскопические исследования формованных МДМструктур.
1.4. Явления, наблюдаемые в формованных МДМструктурах
1.4.1. Эффекты переключения и памяти
1.4.2. Электронная эмиссия
1.4.3. Электролюминесценция.
1.4.4. Процесс деградации в формованных МДМструктурах
2. Методика приготовления образцов и проведения экспериментов.
2.1. Методика приготовления образцов
2.1.1. Материала подложки.
2.1.2. Нанесение нижнего электрода
2.1.3. Выделение рабочей области
2.1.4. Нанесение рабочего диэлектрика.
2.1.5. Нанесение верхнего электрода.
2.1.6. Нанесение контактов к верхнему электроду.
2.2. Методика проведения экспериментов
2.2.1 Исследование электрических характеристик формованных МДМструктур .
2.2.2. Исследование электрических характеристик нсформованных МДМструктур
2.2.3. Исследование пористости диэлектрика
2.2.4. Определение элементного состава
2.2.5. Исследование поверхности формованных и нсформованных МДМмтруктур
2.2.6. Исследование переходных процессов в формованных МДМструктурах
3. Влияние примеси углерода на формовку и параметры структур Мо8Ю2СА1
3.1. Общее исследование процесса формовки
3.2. Электронная эмиссия формованных структур Мо8Ю2СА1
3.3. Электролюминесценция формованных структур Мо8Ю2СА1.
3.4. Эффекты переключения и памяти в формованных МДМструктурах
Мо8 Ю2СА1.
3.5. Процессы деградации в формованных структурах Мо8Ю2СА1
3.6. Кинетика развития формовки структур Мо8Ю2СА1.
3.7. Обсуждение результатов
3.8. Выводы но главе
4. Исследование электрофизических характеристик неформованных структур Мо8СЛ1
4.1. Проводимость и ВАХ неформованных структур Мо8СА1
4.2. Исследование элементного состава диэлектрика 8Ю2С.
4.3. Исследование емкости структур Мо8Ю2СА1
4.4. Пробой неформованных структур Мо8Ю2СА1
4.5. Обсуждение полученных результатов
4.6. Выводы по главе
Заключение
Список используемых источников
- Київ+380960830922