Содержание
Введение
1 Структура и проводимость систем на поверхности кремния
1.1 Поверхностная проводимость и электронные свойства поверхности
1.1.1 Электрическая проводимость.
1.1.2 Проводимость вблизи поверхности полупроводника.
1.1.3 Проводимость через слои поверхностного пространственного заряда
1.1.4 Каналы проводимости
1.1.5 Электронные свойства поверхностей
1.2 Реконструкция поверхности и двумерная кристаллография
1.3 Структура и свойства чистой поверхности кремния и некоторых ее модификаций
1.3.1 Чистая поверхность i 7x7.
1.3.2 i I5x5.
1.3.3 i 13x3.
1.3.4 i 1чЗхч3Аи,п ЗО
1.3.5 i3xv3
1.3.6 Реконструкции I на i .
1.4 Структура и проводимость пленок Аи на i .
1.4.1 Структура пленок Аи на i 7x7
1.4.2 Проводимость пленок Аи на i 7x7
1.5 Адсорбция кислорода на поверхность i.
1.6 Адсорбция СГ0 на реконструированные поверхности БОМ, проводимость и электронные свойства
1.6.1 Молекулы Сзд на 81.
1.6.2 Молекулы Сею на Б1аЗх3Аи
1.6.3 Молекулы Сю на 8 1чЗх3А .
1.7 Выводы
2 Методы исследования и экспериментальная установка
2.1 Методы исследования.
2.1.1 Четырехзодовый метод измерения проводимости.
2.1.2 Дифракция медленных электронов .
2.1.3 Электронная ожеспектроскопия.
2.1.4 Сканирующая туннельная микроскопия
2.1.5 Фотоэлектронная спектроскопия.
2.2 Экспериментальные установки и методики поведения экспериментов .
2.2.1 Экспериментальные установки.
2.2.2 Приготовление атомарночистой поверхности.
2.2.3 Калибровка температуры образца
2.2.4 Калибровка скорости напыления адсорбата.
2.3 Выводы
3 Металлические реконструкции поверхности кремния
3.1 Структура и проводимость в системе Аи,п51
3.1.1 Структурные превращения в системе Аи,п8 1
3.1.2 Проводимость в системе Аи.п8 1.
3.2 Структура и электронные свойства поверхности сЗхл3Аи модифицированной атомами 8
3.2.1 Структура модифицированной поверхности 8 1ЛЗх3Аи,1Ча
3.2.2 Электронные свойства поверхности 8 1Зх3Ли, .
3.3 Структура и проводимость в системе Аи,Ад81
3.3.1 Структурные превращения в системе Аи,АдБК1
3.3.2 Проводимость в системе Аи,АБ1.
3.4 Выводы.
4 Сверхтонкие пленки золота на реконструированных поверхностях кремнияОЗ
4.1 Пленки золота на поверхности Б1 5х5Си
4.1.1 Механизм роста пленок золота на поверхности Б15х5Си .
4.1.2 Проводимость пленок золота на поверхности Б15х5яСи . . .
4.1.3 Устойчивость системы АиБ15х5Си к экспозиции в кислороде .
4.2 Пленки золота на различных реконструкциях в системе п81
4.2.1 Механизм роста пленок золота на поверхностях пБ 1
4.2.2 Проводимость пленок золота на поверхностях пБ1ИЗ
4.3 Выводы.
5 Влияние молекулярного слоя Соп на проводимость и режим роста пленок Аи и Ад.
5.1 Адсобция Ли и С6о на Б1аЗх3Аи.
5.2 Адсобция Ад и Ссо ка Б1Зх3Ад.
5.3 Выводы.
Общие выводы
Список литературы
- Київ+380960830922