СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1 АНАЛИЗ ОСОБЕННОСТЕЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО РОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК И ЕГО КОНТРОЛЯ.
1Л Влияние скорости осаждения на свойства пленок
1.2 Обзор методов нанесения гонких пленок в вакууме.
1.3 Обзор методов измерения скорости осаждения и их
КЛАССИФИКАЦИЯ
ЕЗЛ Гравиметрический метод.
Е3.2 Метод измерения давления молекул пара.
1.3.3 Метод кварцевого резонатора
ЕЗЛ Ультразвуковой метод.
1.3.5 Оптические методы
1.3.5.1 Фотометрический метод.
1.3.5.2 Метод спектрофотометрии.
1.3.5.3 Эллипсометрический метод
1.3.5.4 Интерференционный метод.
1.3.6 Резистивный метод
1.3.7 Емкостный метод
1.3.8 Ионизационный метод
1.3.9 Метод электронноэмиссионной спектроскопии.
1.4 Анализ методов контроля скорости осаждения и толщины ПЛЕНОК.
Выводы по I 1Ервой главе и постановка задач исследований
2 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ФОТОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ
2.1 Математическая модель процесса осаждения гонких пленок
2.2 Математическая модель метода контроля процесса осаждения
2.3 Анализ методов измерения мгновенной скорости осаждения диэлектрических ПЛЕНОК.
2.3.1 Методы измерения мгновенного значения частоты гармонического сигнала.
2.3.1.1 Метод временных интервалов
2.3.1.2 Метод фиксированных уровней.
2.3.1.3 Метод двойного дифференцирования
2.3.1.4 Метод двойного интегрирования.
2.3.2 Применение методов измерения мгновенного значения частоты к реальному сигналу фотометра
2.4 ИСТОЧНИКИ ПОГРЕШНОСТЕЙ В ФОТОМЕТРИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
2.5 Влияние отклонений показателей преломления па
ЗНАЧЕНИЕ СИГНАЛА ФОТОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ.
Ф В Ы ВОДЫ ПО 1Л ОРОЙ ГЛАВЕ.
3 МОДЕЛИРОВАНИЕ АВТОМАТИЧЕСКОГО ФОТОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ И
ЭКСПНРИМЕ1ГГАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЙ ФОТОМЕТРИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ
3.1 МОДЕЛИРОВАИЕ АВТОМАТИЧЕСКОГО ФОТОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ В СРЕДЕ МАТЕАВ И СИНТЕЗ ЕГО ОПТИМАЛЬНОЙ СТРУКТУРЫ
3.2 ПОЛУНАТУРНЫЙ ЭКСПЕРИМЕНТ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ
УСТРОЙСТВА СОПРЯЖЕНИЯ1
3.3 ПОЛУНАТУРНЫЙ ЭКСПЕРИМЕНТ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРОМЫШЛЕННЫХ МОДУЛЕЙ 1СР ОАБ1 I
3.4 Измерение скорости травления фоторезиста в растворе
ГИДРООКИСИ КАЛИЯ 1
3.5 Описание установки для термического вакуумного
ИСПАРЕНИЯ1
3.6 Применение фотометрического измерителя для
АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ В Ф РЕАЛЬНОМ ПР1ЕССЕ ТЕРМОВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ
ПОКРЫТИЯ
Выводы ПО ТРЕТЬЕЙ ГЛАВЕ
4 ПРОГРАММНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО ФОТОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ И МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ФОТОМЕТРИЧЕСКО О ИЗМЕРИТЕЛЯ
4.1 Описание программной реализации метода расчета
МГНОВЕННОЙ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯI
4.2 Метрологическое обеспечение исследований.
4.2.1 Методика и прибор для измерения показателя
преломления и толщины пленок.
4.2.2 Измерение показателя преломления нанесенных пленок.
4.2.3 Исследование стабильности мощности лазера
4.2.4 Определение длины волны полупроводникового лазера
ВЫВОДЫ ПО ЧЕТВЕРТОЙ ГЛАВЕ.1
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922