Снижение погрешности формирования прецизионных углоизмерительных структур

Введение
Глава 1 Обзор и анализ современного уровня развития угловых преобразователей и основных технологий производства прецизионных углоизмерительных структур.
1.1 Современное состояние производства угловых преобразователей
1.2 Современный уровень технологий формирования прецизионных углоизмерительных структур
1.3 Выводы по первой главе.
Глава 2 Исследование точностных параметров основных технологий, используемых для формирования прецизионных углоизмерительных структур, выработка единого критерия, позволяющего сравнивать качество технологий.
2.1 Определение накопленной погрешности прецизионных углоизмерительных структур, изготовленных но различным технологиям
2.2 Универсальный критерий для сравнения качества технологий используемых для формирования прецизионных углоизмерительных структур
2.3 Оценка потенциальной точности датчиков угловых перемещений с лимбами, изготовленными по способу кругового сканирования.
2.4 Выводы по второй главе
Глава 3 Анализ и исследование причин, приводящих к искажению круговой траектории движения записывающего луча по поверхности фоточувствительного слоя.
3.1 Зависимость погрешности формирования углоизмерительных структур от искажений круговой траектории движения записывающего луча.
3.1.1 Экспериментальные результаты, указывающие на зависимость погрешности формирования углоизмерительных структур от искажений круговой траектории движения записывающего луча
3.1.2 Анализ результатов формирования углоизмерительных структур от искажений круговой траектории движения записывающего луча
3.1.3 Связь искажений круговой траектории движения записывающего луча с паразитными движениями оси ротора шпинделя
3.2 Анализ действия внешних факторов на изменчивость траектории движения записывающего луча по поверхности фоточувствительного слоя .
3.2.1 Влияние дисбаланса ротора
3.2.2 Влияние несоосности оптической оси головки записи и оси вращения
ротора шпинделя
3.3 Выводы но третьей главе
Глава 4 Повышение точности формирования прецизионных углоизмерительных структур, их экспериментальная проверка и использование.
4.1 Повышение точности шпиндельного узла, устойчивого к различным дестабилизирующим факторам
4.2 Разработка и исследование прецизионного инкрементального углового преобразователя лазерного технологического комплекса СЬ80
4.3 Изготовление улучшенного растра и его метрологическая аттестация.
4.4 Выводы по четвертой главе.
Заключение.
Список используемых источников