Построение систем управления и информационно-измерительных модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. РОСТОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
1.1 Классификация кристаллизационных процессов
выращивания монокристаллического кремния
1.2 Агрегаты и модули оборудования для выращивания монокристалл ического кремния методом Чохральского.
1.3 Особенности тепловых модулей оборудования
для выращивания монокристаллического кремния.
1.4 Модули управления процессом выращивания монокристаллического кремния
1.5 Методы оптимизации технологического процесса выращивания монокристаллического кремния
Постановка задачи исследования
2. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ.
2.1 Параметры состояния системы расплавкристалл
2.2 Зарождение и рост монокристаллов кремния
2.3 Влияние условий выращивания на качество монокристаллического кремния
Выводы
3. МОДУЛИ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ.
3.1 Модули автоматического управления ростовым оборудованием.
3.2 Датчики в модулях управления процессом выращивания монокристаллического кремния.
3.3 Устройство и работа пирометра
3.4 Устройство и работа датчика уровня.
3.5 Датчик диаметра
Выводы.
4. ПОЛУЧЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ НА ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЫ ЮМ АВТОМАТИЗИРОВАННОМ ОБОРУДОВАНИИ
4.1. Высокопроизводительная автоматизированная ростовая установка для выращивания монокристаллического кремния.
4.2. Анализ опытных данных, полученных
на высокопроизводительном ростовом оборудовании
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ