Исследование кинетики процессов круговой лазерной записи в пленках хрома при изготовлении дифракционных оптических элементов и контроль их эффективности

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
Глава 1. Обзор и анализ лазерных технологий микроструктурирования
поверхности.
Прямое травление микрорельефа лазерным пучком.
Облучение с последующим жидкостным травлением материала
Запись по плнкам фоторезистов с последующим жидкостным
травлением
Литография с использованием фотошаблонов
Круговая лазерная запись
Контроль качества ДОЭ.
Глава 2. Теплофизический анализ непрерывной лазерной записи скрытых изображений в плнках хрома в широком диапазоне скоростей
сканирования
Оценки параметров теплофизических процессов при записи в
плнках хрома на КЛЗС
Расчт и анализ температурного поля для плнки хрома на кварцевой подложке в процессе воздействия движущимся
лазерным пучком.
Глава 3. Экспериментальное исследование структуры штрихов
при термохимической лазерной записи в плнках хрома.
Структура элементов изображений на КЛЗС элементарных дуг
Структура экспериментальных изображений.
Коррекция тангенциальной погрешности
Исследование топологии поверхности плнок хрома при
записи на КЛЗС.
Глава 4. Измерение эффективности дифракционных оптических
элементов.
Постановка задачи.
Обоснование сканирующего метода
Описание установки для измерения ДЭ
Проверка работоспособности метода сканирования
для измерения ДЭ.5.
Дополнительные возможности аттестации ДОЭ
методом сканирования.
Экспериментальные результаты измерений ДЭ
Заключение
Список литературы