ВВЕДЕНИЕ.
1. Исследование и развитие физикотехнических принципов функционирования мощных полевых транзисторов с барьером Шоттки
МПТШ на арсениде галлия.
1.1 .Анализ перспективных конструкций, материалов и технологий
1.2. Теоретический расчет и анализ статических и динамических характеристик МПТШ на арсениде галлия.
1.2.1. Анализ вольтамперных характеристик МПТШ.
1.2.2. Аналитический расчет основных характеристик МПТШ.
1.3. Выводы по главе.
2. Алгоритм построения и конструкторскотехнологические принципы поэтапного проектирования применительно ко всем основным этапам полного жизненного цикла МПТШ.
2.1. Анализ и оптимизация основных характеристик и конструкции МПТП.
2.2. Разработка конструкции, математический расчет и оптимизация основных характеристик базовой ячейки и всего кристалла МПТШ.
2.3. Выводы по главе.
3. Разработка промышленных технологий, организация и обеспечение эффективного функционирования промышленноинновационной системы серийного производства МПТШ.
3.1. Создание промышленных технологий МПТШ.
3.1.1. Метод многостадийной протонной бомбардировки эпитаксиальных слоев арсенида галлия для улучшения планарности кристалла.
3.1.2. Разработка процессов нанесения низкотемпературных комбинаций диэлектриков и металлизаций для снижения паразитных параметров.
3.1.3. Разработка и оптимизация технологии взрывной фотолитографии для оптимизации топологических профилей кристалла.
3.2. Разработка оптимального технологического маршрута изготовления МПТШ.
3.3. Разработка и освоение производства новых конструкций корпусов.
3.4. Технологические процессы монтажа и присоединения выводов кристаллов МПТШ.
3.5. Комплексная система управления качеством и надежностью МПТШ.
3.5.1. Методика многоступенчатого технологического контроля, для оптимизации технологического маршрута.
3.5.2. Физикотехнический подход обеспечения надежности.
3.6. Выводы по главе.
4. Промышленноинновационный подход к восстановлению и модернизации серийного производства.
4.1. Метод инновационных преобразований в процессе восстановления и модернизации производства МПТШ.
4.2. Конструктивнотехнологические аспекты восстановления производства.
4.3. Выводы по главе.
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
СПИСОК использованной литературы
- Київ+380960830922