Ви є тут

Контроль кристаллов интегральных схем на основе статистического моделирования методом точечных распределений

Автор: 
Столяренко Юлия Александровна
Тип роботи: 
диссертация кандидата технических наук
Рік: 
2006
Артикул:
568504
179 грн
Додати в кошик

Вміст

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1. Статистический анализ эффективности методов контроля
1.1. Применение статистических информационных методов для контроля качества
1.2. Анализ граничного метода межоперационного контроля качества кристаллов ИМС при выборке малого объема
1.3. Задача объективного выбора контролепригодных параметров
1.4. Определение минимального списка контролепригодных параметров методами статистического моделирования ТП по пассивным данным
1.5. Задача повышения эффективности контроля но выборкам малого объема
2. Анализ технологического процесса производства кристаллов ИМС
2.1. Описание технологического процесса производства ИМС
2.2. Анализ особенностей технологического процесса производства кристаллов изделия XI
2.3. Построение таблицы исходных данных
2.4. Построение математических моделей по выборкам большого объема
2.5. Выводы и предложения
3. Повышение эффективности расчета параметров одиночной парной выборок малого объема
3.1. Классические методы расчета параметров выборки и их ограничения
3.2. Метод повышения точности вычисления параметров выборки малого объема
3.3. Определение экспресс формул нахождения дисперсии и исследование их точности
3.4. Определение верхней границы диапазона малой выборки
3.5. Построение корреляционных уравнений с учетом метода точечных распределений
3.6. Выводы и предложения
4. Построение математических моделей для автоматизации
подготовки технологического процесса производства кристаллов ИМС по выборкам малого объема
4.1. Построение математических моделей
технологического процесса изготовления изделия
Ш на основе выборок малого объема
4.2. Построение математической модели технологического
процесса изделия 6 на основе выборок малого
4.3. Разработка программного обеспечения для обработки
выборок малого объема
4.4. Выводы
Заключение
Литература