Закономерности капиллярного формообразования нитевидных кристаллов кремния

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ УПРАВЛЯЕМОГО ВЫРАЩИВАНИЯ НК КРЕМНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
1.1. Особенности кристаллизации нитевидных кристаллов по механизму паржидкость кристалл ПЖК
1.2. Анализ современных представлений о капиллярном формообразовании НК и кристаллов, получаемых из расплавов
1.3. Перспективы получения НК с заданной формой и свойствами
1.4. Заключение, формулировка цели и задач исследования
2. МАТЕРИАЛЫ И МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ
2Л. Газофазное выращивание НК кремния
2.2. Методические особенности морфологических исследований формы профилей боковой поверхности НК кремния
2.3. Методика измерения углов роста .
2.4. Структурная схема и программа расчета зависимости конусности НК кремния от радиуса
3. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМООБРАЗОВАНИЯ НК КРЕМНИЯ, РАСТУЩИХ ПО ПЖКМЕХАНИЗМУ
3.1. Закономерности формообразования НК кремния на начальной стадии роста и постоянство угла роста
3.2. Способ определения угла роста нитевидных кристаллов кремния
3.3. Закономерности формообразования НК кремния на стадии цилиндрического роста
3.3.1. Соотношение поперечных размеров капли, кристалла и угла роста
3.3.2. Скорость изменения радиуса кристалла при нестационарном росте
3.3.3. Морфологическая неустойчивость роста НК кремния
3.3.4. Радиальная неустойчивость роста микронных кристаллов
3.3.5. Устойчивость роста НК кремния
4. УТОЧНЕННЫЙ МЕХАНИЗМ РОСТА И ГАБИТУСНОЕ ПРОФИЛИРОВАНИЕ НК КРЕМНИЯ ПОСТОЯННОГО ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ
4.1. Образование НК постоянного диаметра
4.2. Связь формы боковой поверхности НК кремния с формой капли и углом роста
4.3. Габитусное профилирование НК кремния в процессе роста
4.4. Уточненный механизм ПЖК роста
4.5. Практические рекомендации по управлению габитусом НК кремния
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА