Модификация электрофизических свойств пленки полиэтилентерефталата ионно-плазменным осаждением наноразмерных покрытий на основе углерода

СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
Глава 1. Анализ электрофизических свойств пленки ПЭТФ, ионноплазменных способов получения нанослоев на основе углерода и процессов электризации пленки под воздействием частиц газоразрядной плазмы
1.1. Пленка ПЭТФ ее свойства и применение в
качестве материала электронной техники
1.2. Покрытия на основе углерода. Структура и ионноплазменные способы получения.
1.3. Образование электретного состояния в пленке ПЭТФ
под действием потоков заряженных частиц.
1.4. Постановка задачи.
Глава 2. Объекты и методы исследования
2.1. Объекты исследования и способы их получения.
2.1.1. Получение наноразмерного покрытия на основе
углерода на поверхности пленки ПЭТФ.
2.2. Методы исследования химического состава, структуры и электрофизических свойств пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода, сформированным на ее поверхности.
2.3. Выводы по главе 2.
Глава 3. Исследование электрофизических свойств пленки
ПЭТФ, модифицированной осаждением наноразмерных
покрытий на основе углерода.
3.1. Модификация поверхности пленки ПЭТФ под
воздействием пучка положительных ионов.
3.2. Исследование состава и структуры наноразмерного покрытия на основе углерода, полученного из циклогексана
3.3. Влияние наноразмерного покрытия на основе
углерода на электрофизические свойства ПЭТФ.
3.4. Образование электретного состояния в пленке ПЭТФ под воздействием ионных пучков и в процессе осаждения наноразмерного покрытия на основе углерода.
3.5. Выводы по главе 3
Глава 4. Применение пленки ПЭТФ с наноразмерным
покрытием на основе углерода в приборах
электронной техники.
4.1. Использование пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода в качестве
диэлектрического материала в приборах электронной техники.
4.2. Использование пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода в качестве электретного материала.
4.2.1. Пленка ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода как активный элемент электроакустического преобразователя.
4.2.2. Биологически активный электретный материал пленка ПЭТФ с наноразмерным
покрытием на основе углерода
4.3. Выводы по главе 4.
Заключение.
Список литературы