Ви є тут

Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

Автор: 
Сергеева Жанна Михайловна
Тип роботи: 
Дис. канд. техн. наук
Рік: 
1994
Артикул:
1000187583
179 грн
Додати в кошик