СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
I СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ ПО ИССЛЕДОВАНИЮ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
1.1. Методы целенаправленного синтеза твердофазных веществ и материалов на их основе.
1.2. Характерные особенности тонкопленочного состояния вещества
1.2.1. Физикохихмические особенности тонкопленочного состояния.
1.2.2. Влияние поверхности подложки на свойства пленок
1.2.3. Использование тонких пленок в современной технике
1.3. Физикохимические особенности получения тонких пленок
1.3.1. Физикохимические особенности метода получения пленок из ПОР.
1.4. Свойства соединений на основе БЮ2 и их пленок
1.5. Свойства диоксида циркония, циркона и материалов на их основе
1.6. Постановка задачи исследования.
И. ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА. МЕТОДИКИ СИНТЕЗА И ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ
2.1. Исходные вещества для получения тонких пленок и подготовка подложек.
2.2. Методики синтеза тонких пленок из пленкообразующих растворов
2.3. Методика термогравиметрического анализа тонких пленок и гидролизата ПОР.
2.4. Методика исследования вязкости ПОР.
2.5. Методика исследования электропроводности ПОР.
2.6. Методы спектрофотометрического анализа
2.7. Растровая электронная микроскопия
2.8. Рентгенофазовый анализ.
2.9. Методы исследования физикохимических свойств пленок.
2.9.1. Исследование оптических свойств пленок.
2.9.2. Адгезия пленок.
2.9.3. Исследование электрофизических свойств пленок
III. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ пленок оксидов 8Ю2, Тл и системы Бю2гю2
3.1. Исследование процессов, протекающих в пленкообразующих растворах
3.2. Процессы, протекающие в тонком слое ПОР при 5 К и
3.3. Процессы в ПОР при 0 К.
3.4. Физикохимические процессы формирования ЪхЗЮ2 при высоких температурах.
IV. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПЛЕНОК ЪхЫ
V. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ ЦИРКОНИЯ И КРЕМНИЯ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922