Содержание
ВВЕДЕНИЕ
1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1. Нанесение функциональных покрытий в производстве ЭВП
1.2. Технология и оборудование плазменного напыления в производстве ЭВП.
1.3.Аппаратура и методы исследования функциональных плазмонапылепных покрытий.
1.3.1. Прочность, поверхность и структура покрытий
1.3.2. Сорбционнодесорбционные свойства в вакууме
1.4. Свойства плазмонапыленных покрытий.
1.4.1. Антиэмиссионные титановые покрытия.
1.4.2. Эмиссионные покрытия из тройного карбоната щелочноземельных металлов
2. РАЗРАБОТКА АППАРАТУРЫ И МЕТОДИКИ ДЛЯ КОМПЛЕКСНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПЛАЗМОНАПЫЛННЫХ ПОКРЫТИЙ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ПРОИЗВОДСТВЕ ЭВП.
2.1. Принципы комплексной разработки оборудования и методик для исследования и контроля качества плазмонапыленных покрытий.
2.2. Конструирование гибких сверхвысоковакуумных комплексов для исследования плазмонапыленных покрытий.
2.2.1. Условия функционирования покрытий в ЭВП..
2.2.2. Принципы конструирования ГСВВК.
2.2.3. Разработка ГСВВК для исследования сорбционнодесорбционных, газодиффузионных и эмиссионных свойств материалов.
2.3. Методика изучения сорбциошюдссорбцнонных свойств плазмонапыленных покрытий
2.3.1. Подготовка образцов
2.3.2. Проведение измерений и обработка результатов.
2.4. Методика и аппаратура для изучения физикомеханических свойств и структуры плазмонапылепных покрытий.
3. ИССЛЕДОВАНИЯ ПОРИСТОЙ СТРУКТУРЫ И СОРБЦИОННОДЕСОРБЦИОННЫХ СВОЙСТВ ПЛАЗМОНАПЫЛННЫХ ПОКРЫТИЙ
3.1. Особенности формирования пористой структуры плазмонапыленных титановых покрытий
3.2. Сорбционнодесорбционное взаимодействие титановых покрытий с водородом
3.2.1. Сорбционнодесорбционные характеристики покрытий.8
3.2.2. О механизме поглощения водорода при различных температурах.
3.3. ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ ЭМИССИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ТРОЙНОГО КАРБОНАТА ЩЕЛОЧНОЗЕМЕЛЬНЫХ МЕТАЛЛОВ В УСЛОВИЯХ АКТИВИРОВКИ.
3.3.1. Газовыделение покрытий.
3.3. 2. Формирование эмиссионного слоя. Энергия активации разложения тройного карбоната.
4. ПРИМЕНЕНИЕ ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ
4.1. Многопарамстричсская оптимизация плазмонапылнных покрытий ЭВП.
4.2. Сорбционные характеристики плазмонапылнных геттерных титановых покрытий катодносеточных узлов МГЛ.
ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922