Содержание
Введение.
1. Литературный обзор.
1.1. Свойства оксидов переходных металлов
1.1.1. Особенности электронного строения.
1.1.2. Оксиды ванадия
1.1.3. Электроформовка и эффект переключения.
1.2. Модификация свойств оксидов переходных металлов.
1.3. Неорганические резисты в литографии.
1.4. Резистивная память на основе оксидов переходных металлов
1.5. Выводы из литературного обзора. Постановка задачи.
2. Методика экспериментальных исследований
2.1. Методика получения образцов.
2.1.1. Методика получения аморфных пленок У5 термическим и лазерным распылением
2.1.2. Создание структур методом анодно катодной поляризации.
2.2. Аппаратура для фотонной и корпускулярной модификации
2.3. Измерительные методики
3. Электрические свойства структур на основе окидов ванадия
3.1. Электрические свойства УНхУАи структур полученных методом аноднокатодной поляризации.
3.2. Электрические свойства структур на аморфного основе оксида ванадия.
4. Электрические свойства многослойных оксидных структур
4.1. Исследование электрических свойств структур 8ь8Ю2У5Аи.
4.2. Моделирование электрических свойств структуры.
4.2.1. Формовка структуры
4.2.2. Переход из низкоомного в высокооимное состояние.
4.2.3. Переход из высокоомного в низкоомное состояние
5. Модификация и селективное травление тонких пленок аморфного У5
5.1. Модификация аморфного У5 под действием ультрафиолетового облучения низкой интенсивности
5.2. Лазерная и электронная модификация свойств аморфного У5
5.3. Создание структур с эффектом переключения на основе диоксида ванадия.
Заключение и выводы.
Литература
- Київ+380960830922